中古 SPEEDFAM 30B-5P-2M-N #9410061 を販売中
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SPEEDFAM 30B-5P-2M-Nは、高精度で信頼性の高いターンキーウェーハ研削、ラッピング、研磨装置で、様々な半導体材料に平坦面と平行面を製造しています。このシステムは、組み込みのPoliPol抽出器と統合されたスクラブ/評価ステーションを備えた5軸トラベル構成を備えています。このユニットには、180度のインデックスストップを1つ備えた回転テーブルがあり、位置安定性を提供し、オペレータが素早く工具交換を行うことができます。2つの研削と1つの研磨の3つのプロセスチャンバーには、150kgの容量とユニークなサイズの評価ステーションを備えた各ロードロックを備えた2つのロードロックが装備されています。研削チャンバーには2つの75インチが含まれています。3ジョーチャックと2つの3 I。D。単方向電流が可能な研削スピンドルは、最大8500 rpmをスピードします。スピンドルは片持ち型電動エンドエフェクターに取り付けられ、研削工程を通じてウェハの上面を移動します。スピンドルはそれぞれ、振動を低減する機構のためのブラシレスモーターと、可変スピンドル速度の無段階速度制御を備えています。研磨チャンバーには、ウェーハ裏面の一部を研磨するための真空チャックが含まれています。主軸は、サンプルからモータへの熱の移動を減らすために、タレット鋳造のブラシレス、トルクモーターです。タレットは下部から調節可能で、オペレータは速度を微調整することができます。30B-5P-2M-Nはgrindingおよび磨くプロセスのグラフィック・セットアップ、表示およびデータ分析を提供する色のタッチ画面とユーザーフレンドリーである高度の粉砕および磨く機械です。このツールには、パラメータ情報の保存/取得機能と自動開始/自動停止操作も含まれています。SPEEDFAM 30B-5P-2M-Nは、さまざまな速度、サイズ、構成を備え、幅広い産業および研究目的に最適な資産です。
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