中古 SPEEDFAM 2B-9L #9276665 を販売中

SPEEDFAM 2B-9Lウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ウェーハ基板を加工するためのターンキーソリューションです。このシステムを使用すると、優れたプロセス再現性を保証しながら、信じられないほどのウェーハ間の均一性を実現できます。2B-9Lユニットの主要コンポーネントは、2つの離散インライン処理ステーションです。最初のステーション「研削」には、空気圧ウェハ研削用の2台の独立制御（XおよびY）軸機が含まれています。このステーションには発振コンベアが搭載されており、粉砕段の圧力を正確に再現できるため、あらゆる種類のウェハを正確に粉砕することができます。次の駅は「ラッピング」駅です。ここでは、ウェーハを保持治具の上に置き、回転する研磨媒体に押し付けます。このステーションには、圧力を均等に分散させる一連の圧縮チャンバーも装備されています。結果はウェーハ表面全体にわたって完全に均一な仕上がりです。3番目の加工ステーションは「研磨」ステーションです。このステーションは、ウェーハ表面をさらに洗練して滑らかにし、残りの欠陥を取り除くように設計されています。このステーションでは、ポリッシングホイールを使用して、残りの欠陥を機械的にスクラッチし、ウェーハの平坦性とコンタミネーション制御要件に合わせて仕上げ輝きを与えるための一連のバフを使用しています。SPEEDFAM 2B-9Lの柔軟な設計により、シーケンシャル処理、プロセスサイクル時間の最適化、オプションのブースター仕上げなど、さらなるカスタマイズが可能です。さらに、このマシンは、お気に入りのレシピの最大999までのストレージ（およびUSBドライブから保存したレシピをインポートする機能）、リアルタイムのステータス監視、複数のステーションのオペレータ制御など、幅広い手動および自動化されたプロセス制御オプションも提供します。全体として、2B-9Lはウェーハ処理に理想的なソリューションであり、再現性のある精密な結果を提供します。使いやすく、プロセス全体の正確で正確な制御を提供します。SPEEDFAM 2B-9Lツールを使用すると、ウェーハ処理の品質と製品出力に自信を持てるようになります。