中古 SPEEDFAM 28B #293657999 を販売中

SPEEDFAM 28Bは、ウエハ研削、ラッピング、研磨を組み合わせた装置で、さまざまなウエハ加工プロセスの生産スループットを向上させるように設計されています。このシステムは、半導体、オプトエレクトロニクス、ディスプレイ、薄膜ソーラーなど、さまざまな業界のウェハ製造に使用されるジェネリックソリューションです。このユニットは、高精度で高性能な研削、ラッピング、研磨機能を備えているため、さまざまな用途に適しています。このマシンは、基本モジュールと交換可能な研削、ラッピング、研磨ツールで構成されており、ユーザーは単一の操作で処理されるウェーハ上のさまざまなプロファイルと仕上げ特性を生成することができます。28Bの操作の精度と再現性は、その大きな接触ホイール駆動とエアベアリングスピンドルに起因する可能性があります。コンタクトホイールドライブは総径600mmを誇り、エアベアリングスピンドルは非常に低い摩擦を持ち、研削、ラッピング、研磨作業中に高精度を提供することができます。また、パワー対重量比が非常に高いため、ワークスペースが限られた生産環境での使用に適しています。さらに、ユーザーは手動または自動化されたツールを介していつでも操作を一時停止することができ、本番環境での休憩を可能にします。この追加の柔軟性により、総出力を向上させ、生産コストを削減できます。最小限の努力で正確な結果を提供するために、SPEEDFAM 28Bには、プロセスパラメータを監視するためのレーザーセンサーも装備されています。これにより、高精度な結果を得るために必要な処理ステップを正確に繰り返すことができます。全体として、28Bはさまざまな等級および終わりの特徴が付いているウェーハをすぐにそして効率的に作り出すための完全な選択です。