中古 SPEEDFAM 28B-5L2M #9225432 を販売中

SPEEDFAM 28B-5L2Mは、最先端の高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムで、シリコンウェーハおよびフラット基板のファインフィニッシュ生産用に設計されています。この最先端の機器は、高度なMEMSプロセスを利用し、最も低い欠陥で最高の歩留まりと一貫した結果を提供します。このシステムは、着信ウェハ特性のプロセス制御から始まり、多くの印象的な機能を誇っています。リアルタイムウェーハモニタリングユニットは、各ウェーハがプロセスの各段階の前後で適切に評価されることを保証します。ロボットウェハハンドリングマシンはまた、均一でない研削、ラッピング、研磨を防止するために、ウェハの正確なアライメントを保証します。単一の統合CNCツールは、すべてのプロセス機能を管理し、柔軟性と再現性を提供します。このアセットは、シリアル処理と並列処理の両方に対応でき、より多くの製品を一度に完成させることができます。研削部分には7軸の自由移動スピンドルを採用し、ウェーハエッジの高い透明性を実現しています。内蔵の空気真空は、表面から使用済みの研磨粒子を除去することにより、プロセス時間を短縮するのに役立ちます。ラッピングセクションは非常に効率的で、最大450rpmの回転速度を可能にする速度制御機能を備えています。強力なモーターは周波数コンバーターによって動力を与えられ、反復可能な、精密な結果を提供します。研磨セクションは完全に自動化されており、成形と研磨の両方のプロセスを可能にします。2つの研磨板は独立して作動することができ、ウェーハのすべての領域が均等に研磨されるようにします。このモデルはまた、研磨後の品質チェックを提供することの付加的な利点を持っています。全体として、28B-5L2Mはウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセスのための信頼性の高い、正確なソリューションです。堅牢な構造と高度な技術により、高性能シリコンウェーハの製造に最適です。