中古 SPEEDFAM 28B-5L #9276644 を販売中

SPEEDFAM 28B-5Lウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、ウェーハや薄い基板の高精度な研削、ラッピング、研磨のために設計された多目的システムです。このユニットは、表面平坦性、粗さ、強調、滑らか化、摩耗、酸化物の研磨、ハードマスク、および誘電層などの幅広いプロセスを処理することができます。28B-5Lマシンには、優れた性能と信頼性を提供する可変速度、ダイレクトドライブモーターが装備されています。スピンドルモータは、精度のための動的速度調整とプログラム可能なデジタル速度制御を備えています。このツールは、動作範囲全体にわたって一定のトルクを提供するように調整することもできます。ウェハ研削、ラッピング、研磨プロセスを制御するために、アセットは、速度、プレス、時間、送り速度、圧力に関連するすべてのパラメータが最適な範囲に保たれるように設計された自動プロセス制御モデルを備えています。SPEEDFAMの28B-5L装置はまた十分換気され、単一のウエハの処理の適用のために塵なしで保つことができるフルレングスの仕事部屋を特色にします。また、デジタルタッチスクリーンインターフェイスを備えており、オペレータはプロセスパラメータをすばやく変更できます。また、特殊ウエハ研磨用高研磨機を搭載しています。このツールは、最高品質の表面仕上げを提供し、ウェーハの歩留まりと再現性を高めるように設計されています。28B-5Lアセットには、処理中に発生した水分やほこりを取り込み、ろ過する排気モデルも装備されています。これは、ウェーハの汚染を防ぐために行われます。全体的に、SPEEDFAM 28B-5L装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の厳しい要件を満たすように設計されています。このシステムは、基板加工の厳格な要件を満たし、正確な測定基準を達成するための一貫した高品質の結果を提供するように設計されています。このユニットは、幅広いプロセス要件のために半導体およびフラットパネルディスプレイ業界で広く使用されています。