中古 SPEEDFAM 28B-5L #9259365 を販売中

SPEEDFAM 28B-5Lは、面倒な手間をかけずに高品質の表面仕上げと正確な厚さの許容差を生成するように設計された優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、シリコン、ヒ素ガリウム、石英ウェーハなど、さまざまな半導体基板を効率的に準備するのに適しています。表面ダメージを最小限に抑えながら、非常に滑らかな仕上がりで高品質な表面を作り出すことができます。それは1µm Ra以下の表面の終わりおよび+1/- 2µmまでの厚さの許容を達成できるモーターを備えられた単一の紡錘の粉砕車輪から成っています。モータは調整可能で、最大研削速度は6000 rpmですが、研削ホイールは最大72000 rpmで回転できます。その柔軟性は競合他社の多くを超えています。28B-5Lマシンには、ラッピングとポリッシングユニットが統合されており、ユーザーは非常にタイトで一貫した在庫除去率で低反射面を作成できます。ラッピングおよび研磨ユニットは、2つの個別に調整可能な圧力プレートで構成されており、正確な材料除去のためのラッピング/研磨圧力の制御を可能にします。この生産セットアップは、+6/- 8µmの最終的な厚さ公差と0.1µm未満の鏡面仕上げを達成するのに理想的です。さらに、統合されたマイクロラフ研磨は、最大0.2µm Raの欠陥表面仕上げを低減するように設計されています。液体クーラントツールは、最適なクーラント温度を保証し、加工の安定性を高め、表面仕上げの品質をさらに向上させます。SPEEDFAM 28B-5Lには、中央破片の除去と濾過のための高度な資産も装備されており、ツールフィットネスと寿命を大幅に向上させています。全体として、28B-5Lモデルは、高い生産出力で優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨能力を提供するように設計されており、タイムリーかつ信頼性の高い方法で高品質の結果を生成するために探している人のための究極のソリューションです。