中古 SPEEDFAM 28B-5L #9143481 を販売中

SPEEDFAM 28B-5Lウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、半導体などの精密表面仕上げのための高性能システムです。ユニットの主なコンポーネントは、研削、ラッピング、研磨テーブル、およびスピンドルヘッドアセンブリです。すべての部品は正確な粉砕、ラッピングおよび磨く結果を提供するように設計されています。研削テーブルは、調整可能なベース、低騒音振動制御機、およびダイヤモンド研削砥石を搭載した平板で構成されています。このダイヤモンドの粉砕車輪はケイ素、サファイア、ガリウムのヒ素および他の材料を粉砕することができます。研削ホイールはユーザーフレンドリーなインターフェースによって制御され、工具送り速度、回転速度、研磨圧力を調整できます。さらに、研削時の柔軟性を高めるために傾斜機構が含まれています。ラッピングおよび研磨テーブルには、調整可能な速度で回転するプラテンと、基板のラッピングおよび研磨時に使用するさまざまなダイヤモンドまたは樹脂パッドが収納されています。調節可能な圧力フィードバックツールは、正確な制御と反復可能な結果を可能にします。スピンドルヘッドアセンブリはアセットの中心であり、研削、ラッピング、研磨機能のフルレンジを提供します。主軸ヘッドは、低消費電力、低ノイズ、高効率モータによって駆動され、過熱することなく正確な結果を提供します。チャックは2mmから9。5mmの厚さの標準的な基質に合うように設計されています。全モデルは健全な絶縁材が付いているステンレス鋼のエンクロージャに静かで、有効な操作を保障し、外からの汚染を避けるために収容されます。また、タッチスクリーンパネルを備えており、あらゆる研削およびラッピング設定に簡単にアクセスできます。28B-5Lウェーハ研削、ラッピング&研磨システムは、高速サイクルタイムで高精度な研削、ラッピング、研磨結果を達成することができ、ユーザーは生産性を損なうことなく正確な結果を得ることができます。