中古 SPEEDFAM 24SWM #9236173 を販売中

SPEEDFAM 24SWMは、2。05インチから24インチ（5。2 cmから61 cm）までの高付加価値の半導体およびフォトニックウエハを加工する際に、高い精度と精度を提供するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。炭化ケイ素などの研磨材を使用して、研削、ラッピング、研磨をシングルステップで行いながら、高いアスペクト比を実現するように設計されています。24SWMは、PCベースのユーザーインターフェイスを介して動作する自動化システムで、ウェーハ操作の制御とカスタマイズを容易にすることができます。これは、ウェーハを加熱し、チャック上でそれらを研削することによって動作します。チャックは、高度なモーターとコンピュータ数値制御（CNC）ユニットによって駆動され、プロセス中のウェーハの位置、速度、加速度を正確に制御します。チャック内のモーターの能力は調節可能であり、異なる研削速度と表面仕上げを可能にします。また、完成したウェーハの精度を測定するための統合ツールも提供しています。また、ウェーハサイズ、形状、厚さなどにも対応できる柔軟なセットアップを採用しています。直径24インチまでの2。05インチ正方形および長方形ウェーハ、および円形および非円形ウェーハに対応できます。また、0。5ミクロンのD25許容範囲内で同等の再現性を提供します。SPEEDFAM 24SWMウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルは、高性能2軸サーボモータを搭載しています。クローズドループ高さ調整装置を搭載し、正確な負荷制御を実現し、最大処理速度は3,000rpmです。高剛性の機械構造により、研削、ラッピング、研磨中に精密かつほぼ振動のない動作を可能にします。24SWMには、切削工具ホルダーや切削工具、研磨工具、ラッピングツール、研磨ホルダーなど、さまざまな工具ホルダーが装備されています。このシステムは、研磨、化学機械平坦化（CMP）などの高度な研削、ラッピング、研磨技術を活用するためにも設置されています。また、シングルステップおよびマルチステッププロセス、マルチウェーハ処理にも対応しています。要約すると、SPEEDFAM 24SWMは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途向けの高性能ソリューションを提供します。高度なCNCシステムを使用して精度と再現性を高め、幅広いウェハサイズと形状を単一のセットアップで処理できます。このユニットは、完成したウェーハの精度を監視するための統合された測定機を使用して、シングルステップおよびマルチステッププロセスを可能にするため、汎用性にも優れています。半導体およびフォトニック産業における精密なアプリケーションのための堅牢なソリューションです。