中古 SPEEDFAM 24GPAW #9257660 を販売中

SPEEDFAM 24GPAWウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、半導体、データストレージ、医療機器、その他の産業における幅広い用途向けに設計されています。大型ウエハを高効率・低コストで加工する多機能システムです。このユニットは、4つの研磨および研磨ヘッドを備えた大型プロセスチャンバーを備えています。各ヘッドには研削・研磨媒体が含まれており、異なるウエハの寸法や材料に合わせて調整することができ、さまざまなレベルの表面粗さを実現します。また、ヘッドにはアンチスパーク機構が内蔵されており、研削圧力やその他のパラメータを継続的に監視し、安全でない作業条件を排除する安全装置も備えています。このチャンバーには、AC駆動の調節可能なスピードドライブも含まれており、ヘッドの正確な移動を可能にし、結果の優れた再現性を保証します。調節可能な圧力センサーとチャンバー内のレベル検出器は、研削および研磨プロセスの正確な制御を提供します。このツールはまた、ウェーハの自動ロードとアンロードを備えているため、オペレータの介入を減らし、生産を最適化することができます。冷却アセットは、研削および研磨チャンバー上の大きな空冷フードで、ウェーハへの熱関連の損傷を防ぎます。このモデルには複数の濾過システムがあり、一貫性のある結果を得るためにほこりのない環境を作り出すように設計されています。この装置には、操作処理用のPLCが装備されており、調整のためのユーザーフレンドリーなグラフィックスを備えたディスプレイが備わっています。システム全体はステンレス製のフレームに収納され、手動モードと自動モードの両方で動作するように設計されています。SPEEDFAM 24 GPAWは、ウェーハの研磨と研磨のための高性能ソリューションであり、迅速な生産時間とコスト削減を可能にします。それは信頼性が高く、異なった企業の必要性を満たすためにカスタム設計することができます従って大規模な生産に適用範囲が広く、費用効果が大きい解決を提供します。