中古 SPEEDFAM 24GPAW #9050557 を販売中
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ID: 9050557
ヴィンテージ: 1979
Single side CMP system
No inverter
(2) Stages pressure and pump
1979 vintage.
SPEEDFAM 24GPAWは、技術的に高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この製品は、優れた研削、ラッピング、研磨性能を提供することにより、ウェーハの高効率生産を提供するように設計されています。SPEEDFAM 24 GPAWの主な要素は、精密グラウンドテーブル、研削ヘッド、ラッピングヘッドです。テーブルは、優れた安定性と平坦性を提供する精密接地面を備えた頑丈なアルミニウム板で構成されています。これにより、高精度で再現性の高い結果が得られます。研削ヘッドはシステムの不可欠なコンポーネントであり、調整可能な研削ホイールを備えた密閉型ハウジングで構成されています。ラッピングヘッドは、ラッピング時に高速と低力の完璧な組み合わせを提供するように設計されており、高品質のウェーハをもたらします。24GPAWには多くのプログラム可能な機能があり、ユーザーは特定の材料やタスクに合わせて加工パラメータを調整できます。具体的には、研削ホイールの速度と送り速度、ラップ時の速度と圧力を調整することができます。追加機能は、オプションの振動減衰機能を有効または無効にする機能です。加工時の振動レベルを低減し、完成品の精度を確保します。このユニットは、温度、圧力、振動などのプロセスパラメータを監視する機能などの追加機能を備えています。さらに、各マシンには、すべてのプログラムとプロセスパラメータを記録し、さらなる分析のためにそれらを保存するSPCソフトウェアが装備されています。24 GPAWはまた、MESまたはエンタープライズリソースプランニングシステムを含む外部システムとの追加のデータ接続を提供し、ユーザーがより簡単にウェーハ製造プロセスを管理および監視できるようにします。とりわけ、SPEEDFAM 24GPAWは直感的なタッチスクリーンベースのメニューで、ユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスを提供しています。これにより、迅速かつ簡単なセットアップと操作が可能になり、ユーザーがマシンを最大限に活用できるようになります。全体として、SPEEDFAM 24 GPAWは非常に汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。精度、精度、高度なプログラミング機能を兼ね備えているため、さまざまなウェハ製造アプリケーションでの使用に最適です。
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