中古 SPEEDFAM 24GPAW #9031429 を販売中
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ID: 9031429
ヴィンテージ: 1979
Single side wafer polishing system
With brass surface plate
Missing parts:
Inverter
Two stage pressure
Pump
Tank
1979 vintage.
SPEEDFAM 24GPAWは、非常に効果的で信頼性の高い表面処理プロセスを作成するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムには、高精度の自動積み下ろし、複数の工具能力、精密な監視ユニットなどの高度な技術が組み込まれています。この機械は、石英、酸化ガラス、シリコン、ガルスウェア、サファイアなど、幅広いウエハおよび基板材料を処理できます。この機械は強力なACサーボモーターによって高精度の切断を保障するために運転されます。ドライブツールは、優れた性能、安定性、信頼性を提供するように設計されています。また、自動ロードとアンロード構成の広い範囲を含む、オートメーション機能の広い範囲が含まれています。SPEEDFAM 24 GPAWはまた、幅広い基板のためのアプリケーション固有のパラメータ設定の様々な提供しています。この資産に塵の保護おおいカバーが付いているステンレス鋼の構造基盤があります。高精度のスピンドルアセンブリを使用して、精密な研削とラッピング作業を行います。スピンドルはスピードコントロール機能を備えています。さらに、研削工具とラッピング工具は、さまざまな材料除去特性のために調整可能です。研磨には高速リニアモータを採用し、優れた成果を発揮します。また、研磨時間を短縮する最大出力に強力なスピンドルモータを提供します。この装置には、自己診断モジュールや過負荷保護システムなど、さまざまな安全機能も装備されています。24GPAWウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットは、高精度、一貫した、信頼性の高い結果を提供するように設計されています。それは優秀な表面処理および最適化された生産率を可能にするカスタマイズ可能な設定の広い範囲を備えています。この機械は、航空宇宙、研究所、大学などのさまざまな産業に適しています。
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