中古 SPEEDFAM 24GPAW #293672291 を販売中

SPEEDFAM 24GPAW装置は、半導体メーカーが最高レベルの生産スループットを達成するために設計された高度な精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。特許取得済みの低振動、低温プロセスを利用して、システムは1時間あたり最大1,400ウェーハの非常に高いスループットを達成することができます。このユニットは、サファイアのような硬くて脆い材料でも実現可能な、50Å RMSほどの表面仕上げを提供することもできます。SPEEDFAM 24 GPAWは、在庫除去用のプレグラインドホイールと最終仕上げ用のラッピング/研磨プレートのユニークな組み合わせを使用してウェーハを処理します。プリグラインドホイールは、ウェーハ表面全体にわたって一貫した表面除去率を達成するために最適化されており、特許取得済みの低振動プロセスによって補完され、脆弱なウェーハ基板への損傷のリスクが大幅に低減されます。一方、ラッピングとポリッシングプレートは、表面ラッピングマークを最小限に抑え、シングルパスで必要な許容範囲内で均一な表面仕上げを実現します。24GPAWマシンは、プリグラインドホイールとラッピング/ポリッシングプレートの両方の直感的なコントロールとパラメーター設定で、セットアップと操作が簡単です。さらに、このツールは、バッチ使用のための自動メディア配信アセットも備えており、最大48時間の無人運転を可能にします。また、クローズドループメディアと複合洗浄モデルにより、プロセス間のメディアの汚染を防ぎます。オプションのクローズドループ・プロセス監視装置も利用可能で、プロセスが安全なパラメータ内で管理されるようにします。24 GPAWには、最大限の安全性を確保するために、ラッピングプレート表面上の物体を検出するレーザーセンサー、完全な制御を保証するための2ハンドスタートシステム、自動ドアのロックアウト機構など、いくつかの安全機能があります。さらに、このユニットはCE規格に準拠しており、操作を容易にするための広範なユーザビリティテストを受けています。SPEEDFAM 24GPAWは、クリーンルームや真空制御の生産ラインなど、さまざまな産業環境での使用が認められており、リモートメンテナンスと修理のための広範なサービスサポートチームによって支えられています。SPEEDFAM 24 GPAWは、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための最高レベルの生産スループットを達成するための完璧なツールです。