中古 SPEEDFAM 24G #103647 を販売中
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SPEEDFAM 24Gは、今日最も厳しい分析要件を満たしながら、最高レベルのプロセス制御と再現性を実現するように設計された高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは24個のスピンドルを備えており、最大4軸のウェーハ処理を同時に実行できます。ユーザーのニーズに応じてプロセスパラメータを変更できるため、優れた柔軟性を提供します。これにより、100mmから300mmまでの幅広いウエハサイズと形状の加工が可能になります。24Gは、伝統的なフラット研削、プロファイル研削、真空研削などの高度な研削技術を利用しています。これにより、すべてのウェーハ表面が顧客の厳しい仕様に一貫して均一に接地されることが保証されます。このユニットは、効率的な微細研磨と完璧な研磨のために設計されており、その結果、容易な堆積、リソグラフィおよびその他の本質的な加工活動を可能にする精密な均一な表面が得られます。また、特殊なラッピングプロセスを備えており、従来のラッピング研磨剤の必要性を排除します。この独自のプロセスは、材料の消費を削減し、廃棄物処理の必要性を排除します。ラッピングプロセスにより、ラフカットされたウェーハを機械との間で柔軟に処理し、自動搬送することができ、生産性と効率的なウェーハ処理が可能になります。SPEEDFAM 24Gの高度なラッピングコントロールと診断機能により、正確で正確なウェーハ処理が可能です。高精度な動作環境により、粒子発生や低温上昇を最小限に抑え、性能と再現性を向上させます。また、既存の自動化されたプロセスとワークフローに簡単に統合できるため、コスト削減とプロセスの最適化が向上します。このマシンは、処理されるすべてのウェーハのプロセスデータを収集して保存するため、比類のないプロセス監視および制御用に設計されています。また、インタラクティブなタッチスクリーンを備えた直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを提供し、操作をシンプルで安全かつ効率的にします。24Gは、ウェーハ処理のためのオールインワンソリューションです。生産性と出力を向上させるとともに、完全自動化された環境で幅広いウェーハ処理要件を満たすように構築されています。
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