中古 SPEEDFAM 24DTAW #9007420 を販売中
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SPEEDFAM 24DTAWは、20 μ mの無指向性スクラッチフリー表面を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、超硬、セラミックス、複合材料などの非常に硬い材料の微細加工用に設計されています。自動化されたスピンドルドライブ、サーボ駆動のZ軸、さまざまな処理ヘッド構成を備えています。ウェーハ研削プロセスは、ユーザー入力によって自動的に最適化され、可能な限り最高レベルの性能を提供します。このユニットは24スピンドル駆動機構を使用しており、研削ホイール、ラッピングディスク、およびウェーハに対して研磨ヘッドの正確な位置決めを提供します。これにより、加工動作の精度と再現性が保証されます。ドライブマシンはまた、ウェーハ研削プロセスに高速と精度の高いレベルを提供します。このツールは、ピークトルク500kmで最大2000RPMの速度に達することができます。アセットのサーボ駆動のZ軸は、正確で反復可能なウェーハの配置と位置決めを保証します。z軸は、研削、ラッピング、研磨プロセスにウェーハを上下させるために設定することができます。これは、ウェーハ表面の動きを読み取り、指示をドライブコントローラにリレーする精密エンコーダによって可能になります。このモデルには、特定のウエハサイズと厚さに合わせて設計された幅広い加工ヘッドが付属しています。ヘッドは、異なる材料や表面を粉砕、ラップ、または磨くように構成することもできます。これにより、ユーザーは特定の加工ニーズに合わせてカスタマイズできる汎用性の高い機器を提供します。24DTAWは、使いやすくするユーザーフレンドリーな機能の範囲を誇っています。統合されたインターフェイスは、機械の性能に関するリアルタイムのフィードバックを提供し、データロギング機能はウェーハ研削、ラッピング、研磨プロセス全体を監視します。さらに、システムには、ユーザーがユニット関連の問題を診断してトラブルシューティングすることができるインプロセス診断機能もあります。全体として、SPEEDFAM 24DTAWは、ユーザーに最高レベルの精度と再現性を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。このツールのモジュラー設計により、特定のニーズに合わせて簡単に構成でき、マイクロマシニングセクターに汎用性の高い加工ソリューションを提供します。
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