中古 SPEEDFAM 24DAW #9258002 を販売中

SPEEDFAM 24DAWは、表面粗さが指定された欠陥のないウェハに近いように設計された高度なウェハ研削、ラッピング、研磨装置です。その剛性構造と高度なマイクロプロセッサベースの制御により、最高の精度と生産性を必要とする研磨作業に適しています。このシステムには、電子制御されたダイヤモンドプラテン研削ヘッドが含まれており、8つの独立したダイヤモンドペレットが高精度なアライメントで配置されています。この高度な設計により、研削作業全体にわたって一貫した研削面均一性が保証されます。また、シングルウエハ加工による両面研削作業も可能で、複数のテープ交換が不要となり、全体の生産性が向上します。さらに、研磨粒度にかかわらず、高度なADR （Adaptive Diamond Reduction）制御により、研磨、ラッピング、研磨機能を強化します。また、ウエハインタフェース上の圧力分布を制御することにより、特定の表面粗さへの研削を容易にします。24DAWは直径2「から8」まで及ぶいろいろな種類のウエハの一貫した磨く結果を可能にする調節可能な力および速度が装備されています。さらに、両方の研磨ホイールの独立した同時回転調整を可能にします。SPEEDFAM 24DAWは、プロセス監視カメラツールと統合されており、ウェーハ研削および研磨プロセスにリアルタイムのフィードバックを提供することにより、その効率に余分な強度を追加します。モータ研削用の無負荷・電流過負荷安全トリップ、デュアルホイール漏れ安全インターロック、研削ホイール、ウェーハプレートのロック資産など、さまざまな安全機能を備えています。結論として、24DAWは高効率で信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨モデルであり、特に最高レベルの精度と生産性を達成するように設計されています。独自の特徴、最適な性能、および強化された安全対策により、表面粗さが規定されたニアディフェクトフリーウェハの製造に最適です。