中古 SPEEDFAM 24BTAW #293636360 を販売中
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ID: 293636360
ヴィンテージ: 1991
Single side lapping machine
Plate, Φ 24"
Ring area: 254 Sq.inch
Cylinder, 3.26"
Down pressure per head: 264 Lbs
Hold down diameter, 9"
Plate speed: 87 RPM
Includes:
(3) Down pressure air cylinders hold downs
Water cooled table
Air acutated parts handling table
Abrasive slurry distribution system
Cycle timer control (30 minutes)
Power supply: 230 V, 60 Hz, 3 Phase
1991 vintage.
SPEEDFAM 24BTAWは、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。ウェーハ基板の高品質な表面を製造することが可能です。SPEEDFAM 24 BTAWは、最大24個の粉砕ヘッドを装備しており、それぞれ垂直および水平の両方の送りを制御できます。これにより、最適なプロセス精度を得るために、研削距離を非常に正確に制御できます。24の粉砕の頭部は3つのコラムおよび5列に適用の特定の条件に従って速度および深さでそれぞれ調節可能である整理されます。ラッピングプロセスは、空気圧シリンダと油圧シリンダの組み合わせによって制御されます。これにより、非常に正確なラッピング圧力と動きが保証されます。空圧シリンダはラッピングプロセスの微調整を可能にし、油圧シリンダは均一で一定のラッピング圧力を提供します。研磨工程も高精度で、幅広いプリセット動作パラメータを可能にします。これにより、正確で反復可能な結果が保証されます。研磨ヘッドは、速度と深さの両方で調整可能で、厳密に制御されたプロセスを可能にします。このユニットは、より大きなワークのための複数のディスク研磨セットアップにも対応しています。24BTAWはステンレス鋼ボディ、アルミニウムカバーおよび補強されたシールを含む耐久の部品の、組み立てられます。カバーには、プロセスを簡単に監視し、必要に応じてパラメータを調整するための複数のウィンドウが含まれています。このマシンには直感的なハンドヘルドコントローラが装備されており、素早く簡単にパラメーターを変更できます。24 BTAWは、高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールで、高精度のウェーハ加工に最適です。この資産は、その調整可能な動作パラメータと厳しい構造のおかげで優れた表面を生成することができます。複数のディスク研磨セットアップに対応できるため、幅広い用途に適しています。
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