中古 SPEEDFAM 24B #9217162 を販売中

SPEEDFAM 24Bは、精密平面部品の製造用に設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。半導体ウェーハなどの微細部品の誘電体・金属表面を平坦化・滑らかにするために使用されます。このシステムは、上部と下部のプラテンで構成されており、どちらも最大24ウェーハに対応できます。プラテンの表面は鋳造アルミニウムから成り、最適性能のための陶磁器の材料と上塗を施してある。プラテンの上はプラテンを動かし、粉砕および磨くことに必要な圧力を調節できるギヤードスピンドルモーターに付けられます。スピンドルモータは、研削/研磨力の調整を可能にする統合制御モジュールに接続されています。プラテンの底は精密な表面の平坦のための線形軸受けに取付けられます。ウェーハ研削には、上下に動かすことができる研削ホイールをプラテン上部に取り付けます。制御モジュールは、オペレータが最適な研削圧力、モータトルク、研磨ホイールタイプを選択することができます。さらに、制御モジュールは、ウェーハの状態に最適な研削モードを選択することもできます。ウエハラッピングのために、プラテン底には微細なダイヤモンド研磨性の炭化ケイ素ペーパーが取り付けられています。炭化ケイ素のペーパーの圧力は調節可能で、単位の外から制御することができます。さらに、ラッピング圧力を調整するためにプラテンの速度を調整できます。ウェーハ研磨は、ロータリーブラシを装着したプラテンを使用して行います。ブラシは細かいダイヤモンドのグリットで構成されており、ウェーハの表面を傷つけることなく磨くことができます。回転式ブラシの圧力そして速度は特定の磨く条件に適するように調節することができます。24Bには、2つのオプションのアクセサリーモジュール、自動ウェーハローダー、およびオプトエレクトロニックストリップめっき機もあります。自動ウェーハローダーにより、より高速な生産加工が可能です。また、光電子ストリップめっき工具により、厚さ0。04mmまでの均一なめっき層を実現します。結論として、SPEEDFAM 24Bアセットは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に適しています。オプションのアクセサリーにより、精密平面の製造においてより効率的に使用できるため、幅広い産業用途に最適です。