中古 SPEEDFAM 22B-5L #9276642 を販売中

SPEEDFAM 22B-5Lは、精密研磨のために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、さまざまなウェーハ基板のコンディショニングと再形成を行います。仕上げ研削からラッピング、研磨まで、幅広い素材、形状、サイズ、厚みの複雑な工程に対応できる汎用性の高いシステムです。22B-5Lは、スピンドルアセンブリ、研磨砥石、ラッピングプレート、研磨パッド、サンプルホルダーなど、多くの主要要素で構成されています。SPEEDFAM 22B-5Lの主な構造部品は、250から10000 RPMの間で調整可能な速度で回転する鉄骨フレームに取り付けられたブラシレスACモーターを含むスピンドルアセンブリです。モータは、保護シールドに囲まれた研磨砥石に接続され、サンプルウェーハまたはホルダーの近くにあります。研削ホイールの選択には、研磨樹脂ホイールとダイヤモンドホイールが含まれます。ラッピングプレートは研削ホイールの上に取り付けられ、微細グリット媒体で構成されています。研磨パッドはラッピングプレートの端に取り付けられ、表面をさらに仕上げて精製するために使用されます。サンプルホルダーには、空気圧式および手動のサンプルクランプ、調整可能な留め具ピン、およびサンプルエクステンダーレールが含まれており、作業面に沿ってウェーハを正確かつ再現可能に配置できます。22B-5Lは高められた安全のために、粉砕車輪およびサンプルホールダーのための反振動テーブル、単位を強調した場合の自動シャットダウンおよび負荷の変更のための精密なstepless速度制御そして自動補償のための高度制御機械と設計されています。SPEEDFAM 22B-5Lは、シンプルなコントロールパネル操作と強力なPCソフトウェアを提供し、プロセス監視とプログラマビリティを強化します。モジュラー設計では、軸傾きツール、ウェーハ回転機能、資産測定用の3軸レーザー干渉計など、いくつかのオプションをアップグレードまたは追加することもできます。22B-5Lは、多様な高精度コンポーネントとウェーハの堅牢で精密な生産に理想的なモデルであり、よりクリーンで高密度な表面仕上げ、より高速な処理速度、およびプロセス定義の改善を可能にします。この装置は保守が容易で、安定した結果が得られるため、少量生産と大量生産の両方に適しています。