中古 SPEEDFAM 22B-5L #9175935 を販売中

SPEEDFAM 22B-5Lは、半導体やその他のウェーハの研削、ラッピング、研磨に使用される機器です。このシステムは、主に正確で再現性の高い結果を必要とする製造プロセス後の精密表面仕上げウエハーに使用されます。22B-5Lは、ウェハのプロセス速度を制御するための個別に調整可能なドライブモータを備えた12インチ5ステーションのツールチェンジャーを備えています。テーブル状のデザインは、取り外し可能なシール板の必要性を排除し、正確で一貫した研削面を提供します。このユニットは、同時に研削、ラッピング、研磨することができ、それは非常に効率的であり、ウェーハの大きなバッチのターンアラウンドタイムを減らすことができます。SPEEDFAM 22B-5Lには、ユーザーが必要とする特定のプロセスを最適化するための設定を便利かつ迅速に調整するためのタッチスクリーンコントロールパネルも含まれています。このプロセスマシンは、プロセス全体を管理する組み込みのプログラマブルロジックコントローラを備えています。これには、研削、ラッピング、研磨の圧力を設定するだけでなく、回転速度、送り速度、パス数を設定するなどの機能を備えたマイクロプロセッサが含まれています。コントローラには、将来使用するためのパラメータも格納されます。22B-5Lはダイヤモンドの粉砕車輪およびラッピング版を良質の終わりを達成するのに使用します。研削砥石とラッピングプレートは簡単に交換でき、一貫性のある結果を得るために標準化されています。このツールには、固定または回転テーブルなどの幅広いオプションと、プロセス要件を最適に満たすためのさまざまな負荷容量が付属しています。SPEEDFAM 22B-5Lは、精密な微細仕上げ結果、スループットの向上、品質管理の向上を実現する優れたプロセス制御を備えたユーザーフレンドリーな資産です。このモデルは、精度と速度が重要なマルチステップ研削、ラッピング、研磨用途に推奨されます。