中古 SPEEDFAM 22B-5L #9156533 を販売中

SPEEDFAM 22B-5Lは、小型半導体ウェーハのウェーハ研削、ラッピング、研磨において、信頼性と安定した性能を提供するように設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。このシステムには5つのラッピング面があり、カスタマイズ仕様で必要なマイクロサーフェスに調整することができます。ラッピング面は2"、3"、6"と大きく、ウェハサイズの範囲を処理することができます。22B-5Lの本体はベースユニットと上部ラッピングキャリッジで構成されています。ラッピングキャリッジはモータ駆動スピンドルによって直接駆動され、最適な研削表面接触を確保するために独立して吊り下げられます。ラッピング面には、ウェーハを確実に固定する真空クランプユニットも内蔵しています。ラッピングプロセスは、特別な電気めっきダイヤモンドディスクを使用したユニークなダイヤモンド研磨プロセスを使用して実行されます。ダイヤモンド研磨ラッピングプロセスは、完成したウェーハ表面の厳しい公差内で優れた均一性と精度を提供します。SPEEDFAM 22B-5Lは、ラッピング面の位置と速度、ウェーハにかかるラッピング圧力の量を制御する高度なラッピングおよび研磨制御機も備えています。この機能により、ウェーハは同じ圧力で処理され、最終製品の一貫性と精度が大幅に向上します。上記の機能に加えて、22B-5Lにはいくつかの高度な安全機能が組み込まれています。これらの機能には、運転中のオペレータの安全を保証する完全な安全回路ツールと、モデルの状態と潜在的なエラーを監視し、オペレータに警告する自己診断アセットが含まれます。全体として、SPEEDFAM 22B-5Lは耐久性と信頼性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置であり、最高の精度で一貫した結果を提供するように設計されています。半導体ウェーハの製造に適しており、さまざまなウェーハのサイズに優れた研削面を提供します。機械の高度な制御システムと安全機能は、オペレータが安全であり、プロセスが効率的かつ一貫して実行されることを保証します。