中古 SPEEDFAM 20B #9377480 を販売中

SPEEDFAM 20B装置は、オペレータの介入を最小限に抑え、優れた性能と高品質の結果を得るために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。このユニットは、複数のウェハ径と厚さの並列プロセスの全体的なスループットを向上させるために、いくつかの重要な機能を備えた堅牢でユーザーフレンドリーです。SPEEDFAM 20 Bマシンは、統合されたコントローラの3つのコンポーネント工具、精密ラッピングとストップブロック、およびスピンドルと研削ホイールモーターアセンブリを利用しています。アセットコントローラには、研削、ラッピング、研磨ステップを個別に管理するデュアル高精度マイクロプロセッサが装備されています。さらに、モデルコントローラと組み合わされたシングルフェーズのフルブリッジモータードライブは、最大1,000 RPMの精密モータ制御をスピンドルアセンブリに提供できます。20B装置内の精密ラッピングおよび研磨ブロックは、鋳鋼製であり、薄型および厚型のウェーハ加工に最適な性能を提供します。ラッピングと研磨ブロックは、均一で反復可能な結果を保証するために、高い平坦度と表面仕上げを備えています。20 B以内のスピンドルおよび研削ホイールモータシステムは、4つの研削ホイールすべてで最大2。5 RPSの速度が可能です。研削砥石上の低グリットダイヤモンドコーティングは、非常に微細な制御機能を備えた優れた研削性能を提供します。スピンドルは調整可能で、オペレータの介入を最小限に抑えてホイールの急速な変化を可能にします。SPEEDFAM 20Bユニットには、オペレータの清潔な作業環境を確保するためのガス制御機も装備されています。このツールは、ガス流量を継続的に監視および調整して、ラッピングおよび研磨結果を最適化し、SPEEDFAM 20Bアセットから最高レベルのパフォーマンスを保証します。全体として、20Bは、オペレータの介入を最小限に抑えながら、一貫性のある反復可能な結果を提供するように設計された高性能ウェーハ研削、ラッピングおよび研磨モデルです。その堅牢な構造とユーザーフレンドリーな機能により、さまざまなウェーハサイズと厚さの大規模生産と少量生産の両方に最適です。