中古 SPEEDFAM 20B #9363838 を販売中

SPEEDFAM 20Bは、基板加工において最大限の性能と効率的なウェーハ生産を実現するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SPEEDFAM 20 Bは15インチを備えています。精密研削のためのプラテン、9インチ。ラッピングのためのキャリアテーブル、と5インチ。磨くことのためのキャリアのテーブル。また、MicroPass可変スピード研磨ヘッドを搭載しており、最大10 μ mの材料除去速度を実現しています。プロセス制御のため20B、研磨、ラッピング、研削プログラムを管理するためのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスも付属しています。20B単位の磨く区域に磨くプロセスのための圧力を変えるのに使用することができるテーブルの前部に圧力多様体があります。研磨プラテンには、可変スピードモータを利用した2つの独立した研磨ヘッドがあり、研磨速度の微調整が可能です。さらに、基板とプレートの隙間を簡単に調整するために使用される外部治具機を備えています。SPEEDFAM 20Bは、研削とラッピングの両方に自動化されたドレッサーツールも提供します。これにより、ユーザーは、研削およびラッピングツールを自動的にドレスアップし、ユーザーの介入を最小限に抑えることができます。ドレッサーには、ドレッシングパラメータを設定し、ドレッシングアクティビティを監視できるコントローラがあります。SPEEDFAM 20Bアセットの研削面積は、ロータリーモーターを使用して高精度な研削を提供します。このモータは、最大15,000 rev/minの可変速度範囲を持ち、優れた再現性を備えています。この機械には、研削ムーブメントの3軸（X、 Y、 Z）調整用のプログラム可能なヘッドも装備されています。プラテンはまた、研削工程中に最大の基板付着を確保するために真空ホールドダウンを持っています。20Bモデルのラッピングエリアには、2段階のラッピングプロセスが装備されています。これにより、プレラッピングプロセスと正確なラッピングプロセスを完了することができます。また、ラッピングプロセスには調整可能な治具を使用して、繰り返しラッピングパラメータを可能にします。ラッピングはまた、最適な材料除去率とオペレータの怪我を防ぐ内蔵安全システムを可能にする可変スピードモーターを備えています。安全のために、20Bはまたオペレータと機械の粉砕および磨く区域の間の安全障壁として機能する軽いカーテンを利用します。ライトカーテンは、オペレータがエリアに入るといつでも解除され、オペレータがエリアを離れると再活性化されます。SPEEDFAM 20Bはまた、機械のすべての領域が汚染から解放されていることを保証するために、内蔵の清浄度ユニットを持っています。この機械は自動媒体の詰め替え/フラッシュ、空気ろ過および静的除去用具を含んでいます。全体として、SPEEDFAM 20Bは、最適な性能と効率的なウェーハ生産を提供する優れたウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。自動ドレッサーモデル、可変速度モータ、内蔵安全システム、清浄度システムにより、20Bは基板の精密研削と研磨のためのオールインクルーシブソリューションを提供します。