中古 SPEEDFAM 20B-5P-II #9359292 を販売中

ID: 9359292
ヴィンテージ: 1996
Polisher Maximum diameter: 410 φ Minimum thickness: 0.5 mm Maximum thickness: 30 mm Maximum load pressure: 500 kg Pressure setting range: 0 to 500 kg Plate size: 1380 φ x 432 mm x 40 t Lower plate: 6-59 RPM, 50/60 Hz (5) Carriers: 20B Main cylinder: 180 φ x 350 st Sub cylinder: 180 φ x 80 st Motor: 22 kW Carrier: M: 3 Z: 170 PCD: 510 Internal gear: M: 3 Z: 472 PCD: 1416 Sun gear: M: 3 Z: 132 PCD: 396 Air pressure: 5 - 6 kgf/cm2 90 N/min Power supply: 200 V, 400 W + 100 W, 22.9 kW, 3-Phase 1996 vintage.
SPEEDFAM 20B-5P-IIは、半導体製造業界で使用するために設計された汎用性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。50mmから200mmまで様々なウエハサイズの加工が可能です。最大5軸同時運転を実現するSPEEDFAM 20B-5P IIは、あらゆる形状のウエハに対応可能です。このシステムは高度に自動化されており、ウェーハの精密かつ一貫した研削と仕上げを保証します。20 B 5 P IIは、研削および研磨ホイールの広い範囲を使用して、プロセス中に最大の柔軟性と精度を提供します。ダイヤモンドが刻まれた粉砕車輪は精密な指定にウェーハの表面を形作るのに使用されています。さらに、ダイヤモンド、超硬、セラミックラッピングホイールを組み合わせてウェーハ表面を滑らかにします。研磨工程は、さまざまな研磨パッドとディスクを使用して行われます。非常に細かい研磨剤を使用した最終的な研磨ステップは、必要に応じて可能です。20B-5P IIはコンピュータ化された制御装置も利用している。これにより、ユーザーはウェーハ処理の速度、圧力、タイミングを正確に調整できます。さらに、レビューとクリティカル分析のために、実行ごとに結果を保存することができます。これにより、ユーザーはプロセスをより大きな制御し、必要に応じて迅速な変更を行うことができます。SPEEDFAM 20 B 5 P IIは、いつでも複数のウエハランを実行することができます。これは、複数のブレンダーとポリッシャーを使用して達成され、複数のウエハサイズと形状を同時に収容することができます。さらに、品質管理を確保するために、さまざまな検査ツールを使用することができます。20B-5P-IIは優秀な信頼性および最低のダウンタイムのために設計されています。機械は高級な電気部品を利用し、企業の標準を超過するように設計されています。このツールは最小限のメンテナンスを必要とし、ユーザーが簡単にサービスを提供できます。結論として、SPEEDFAM 20B-5P-IIは、最高の精度と柔軟性を提供する高度なウェーハ研削、ラッピング、研磨資産です。幅広い研削・研磨ホイール、コンピュータ制御を採用し、ウエハーのサイズや形状を問わず一貫して研削・ラップ・研磨が可能です。信頼できる構造および容易な保守性によって、SPEEDFAM 20B-5P IIは産業条件を満たして確実です。
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