中古 SPEEDFAM 20B-5L #9372666 を販売中
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ID: 9372666
ヴィンテージ: 2013
Double sided lapping machine
Maximum down force: 648 kg
Down force range: 0-684 kg
Plate dimension: φ 1355 mm x φ 458 mm x 50 t
Upper plate: 434 kg
Lower plate assembly: 460 kg
Lower plate RPM: 18-60 RPM, 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: φ 180 mm x 500 St
Air supply: 6 kg/cm², 127 Nl/min (5.5 kg/cm²)
Work piece dimension:
Maximum diameter: φ 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Carrier / Ring gear / Sun gear:
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Breaker capacity: 125/75 A
Main drive motor: 15 kW
Ring gear drive motor: 3.7 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump, agitation motor: 0.4 kW, 0.1 kW
Power requirement: 220/380 V, 3-Phase, 21.1 kW
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5Lは半導体産業のために設計された精密ウェーハリング、ラッピング、研磨装置です。5軸ロボットヘッド、直径20インチまでのウェーハを扱うロボットステージ、高温研削盤、ラッピングプレートで構成されています。ロボットアームの最高速度は140cm/secで、粗いものから細かいものまで、あらゆる加工に対応できます。ロボットステージには高精度リニアモータを搭載し、正確な動きと正確な結果を提供します。自動化されたビジョンユニットと高度なソフトウェアのおかげで、20B-5Lは高速で信頼性の高い表面研削とラッピング操作が可能です。粉砕テーブルは、優しいものから攻撃的なものまで、さまざまな粉砕力を提供することができます。プログラム可能な特徴、テーブルは適用に従って特定の力レベルを提供するように置くことができます。テーブルはまた粉砕の速度を改善し、切断の性能を最大限に活用するために高温空気送風機が装備されています。ラッピングプレートは、ラッピングプロセスを駆動するための高トルクモーターを備えており、サポートテーブルには正確なウェーハ回転を可能にする駆動機構が含まれています。SPEEDFAM 20B-5Lは過酷な生産環境での使用のために設計されており、頑丈な構造は極端な作業条件でも信頼性の高い動作を保証します。このマシンは、高度なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、すべての工具操作に簡単にアクセスできます。さらに、強力なコンピュータ制御アセットにより、プログラム可能な速度とツーリングの変更が可能になり、ユーザーはマシンのパフォーマンスを正確なニーズに合わせてカスタマイズすることができます。20B-5Lは、高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に最適です。このモデルの高度な技術と頑丈な構造は、厳しい公差と優れた表面仕上げで、さまざまな研磨および研磨作業を容易にします。高度の視野装置およびタッチ画面インターフェイスはまた構成し、作動し、そしてシステムを監視することを容易にし、プロセスをより信頼でき、有効にさせるのを助けます。
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