中古 SPEEDFAM 20B-5L #9363669 を販売中
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ID: 9363669
ヴィンテージ: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5Lは、汎用性の高い精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。様々な素材や基材において、高品質、超平坦、正確なテクスチャ表面を作り出すように設計されています。このシステムは、20インチのウェーハ研削・研磨機と統合された独自のダイナミックな自己積み下ろしユニットを使用して、基板を迅速かつ正確に処理します。それは最も精密な平らな粉砕および磨く結果のための特別な人工的なダイヤモンドの粉砕およびラッピング表面を組み込みます。機械は必要な働く温度を維持するために高度の自動ウォータージェットの冷却装置が装備されています。20B-5Lは、精密ウエハ研削、ラッピング、研磨を必要とする研究、供給、製造業務の範囲で使用するように設計されています。モジュール式の多機能設計により、シリコン、ポリシリコン、二酸化ケイ素、ヒ素ガリウム、酸化アルミニウム、石英ガラスなどの基板を最大限に柔軟に製造できます。マイクロエレクトロニクスやMEMSの高精度生産にも適しています。このツールには、高品質の2軸デジタル読み出し、PLC制御サーボモータ駆動、および統合されたデータ収集資産が装備されており、各サイクルの動作を正確に制御および監視することができます。さらに、緊急停止ボタン、ラッピングフードの安全機能、および不具合防止ガードドアなど、ユーザーの安全のための高度な安全機能を幅広く提供しています。SPEEDFAM 20B-5Lは、プロセス最適化機能の完全なスイートを含むさまざまな生産性リソースを備えており、最も正確な結果を得ることができます。これは、均一な結果、最適な研削、ラッピング、研磨を確保するために、多段式操作制御を備えています。また、潤滑油の圧力、研磨および研磨速度、材料除去速度、エッジ破断などのプロセスパラメータの設定のフルレンジをサポートし、あらゆるサイクルで正確な結果を提供します。最後に、20B-5Lは人間工学に基づいた設計を提供し、簡単な操作とセットアップを可能にします。また、コンパクトで費用対効果も高く、予算の限られたタイトな生産スペースに最適です。これらの機能を備えたSPEEDFAM 20B-5Lは、精密研削、ラッピング、研磨を必要とする研究および生産作業に最適です。
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