中古 SPEEDFAM 20B-5L #293813756 を販売中

SPEEDFAM 20B-5Lは、平坦度の高い精密な表面と表面を作成するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、完全に自動化されたコンピュータ制御の堅牢なマシンであり、高いスループットを備えており、再現性と高品質の結果を提供します。汎用性が高く、数ミリメートルから数インチまでの幅広いデバイスサイズの処理に使用できます。20B-5Lには、研削ヘッド、ラッピングプレート、研磨プレートが装備されており、すべて精密で2軸ダブルライダーヘッドに取り付けられています。このヘッドはワークフローをスピードアップするように設計されており、効率的な生産と収量の増加を可能にします。研削ヘッドにはダイヤモンド研磨剤があり、ウェーハの表面を貫通、形状、ラフにするために使用されます。内部冷却液を使用して、切断効率を最大化し、プロセス中に発生する熱を低減します。ラッピングプレートは大きく平らなテクスチャ加工された表面で構成されており、高い面積を減らし、ウェーハ全体に均一な表面を提供するために使用されます。プロセスを最適化するために、ラッピングと研磨プレートは最大20種類のパラメータでプログラムすることができます。これには、プロセス中に使用する速度、時間、圧力が含まれます。さらに、プレートは異なる基板に調整することもでき、結果をより大きな制御することができます。最後に、研磨プレートは細かいダイヤモンド研磨剤で構成され、ウェーハの表面をさらに洗練して磨くために使用されます。これは、望ましい平坦度が達成されるまで、表面の不規則性を徐々に減少させることによって行われます。繰り返しますが、最終的な表面は異なる基板に対して制御することができ、精度と再現性の高い結果を得ることができます。結論として、SPEEDFAM 20B-5Lは、高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨ユニットです。使いやすく、最小限の労力で正確で再現性のある高品質な結果を提供することができます。ダイヤモンド研磨部品、調整可能なパラメータ、および内部冷却機械により、幅広い表面タイプを効率的かつ効果的に生産し、使用される基板に関係なく一貫した結果を提供します。