中古 SPEEDFAM 18B #293770302 を販売中

ID: 293770302
Double side polisher.
SPEEDFAM 18Bは、優れたグレードのウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。SPEEDFAM Corporationは、高速かつ精度の高いリターンツースケール構成でウェーハのレーザー溝を正確に研削し、ラップするように設計されています。堅牢で効率的な研削のための水冷表面プラテンを備えた精密18Bは、信頼性と再現性の高い結果を可能にします。マスタープラテン設計は、0。0005「から0。003」までの精度の部品を生産することができ、また、これらのウエハの高精度ラッピングと研磨を保証します。研削/ラッピング面の動きを効果的に制御し、不要な振動や加熱を抑えながら最適な結果を得ることができます。SPEEDFAM 18Bには、モータードライブ、電子圧力制御ユニット、ファインセラミック研削ホイールを備えたユニークな研削、ラッピング、研磨ベースも含まれています。温度、光、湿度を完全に制御する動作環境により、複数のウエハに対して統一された一貫したプロセスを実現します。超精密研削/ラッピングヘッドは、ツーリング、切削圧力、研削/ラッピング速度を優れた制御用に設計されています。パワフルなACサーボモーター、ファインセラムテック研削ホイール、安定したヘビーデューティフレームを採用し、発熱を抑えながら高精度を実現しています。18Bはまた電子圧力制御およびPolithinの磨く頭部制御装置が付いている可変的な速度モーター駆動機械を含んでいます。ポリチンユニットは、ウェーハ表面のダイヤモンド研削力と研磨圧力を低減するように特別に設計されており、高精度の結果を得るために幅広い研磨速度を提供します。これらの部品を組み合わせることで、高性能ウエハ研削、ラッピング、研磨ツールを構成し、幅広い生産需要に対応し、最高品質の結果を達成することができます。堅牢な2軸マスタープラン設計により、スピードファム18Bは、高精度、高速、再現性を備えたラッピングおよび研磨ウエハの信頼性の高い資産です。
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