中古 SPEEDFAM 18B #293770301 を販売中

SPEEDFAM 18Bは、半導体ウェーハの研削・研磨用の高度なシングルテーブル装置です。この高精度システムは、最高の精度で最も困難な材料で非常に高品質で均一な結果を生み出すように設計されています。18Bは、コーティングされていない材料とPECVDコーティング材料の両方を研削および研磨することができます。そのデュアルスピンドルユニットは、1つの操作からウェーハの完全な研削、ラッピング、研磨を可能にします。PI-3ロボットローダーは、高度なオートメーションと機械への便利なアクセスを提供します。このデバイスはまた、高解像度カメラと詳細な結果とプロセスの検証のためのデータ取得と分析のための強力なソフトウェアパッケージを備えています。このツールには、研磨精度を向上させる独自の「光学研磨アセット」も装備しています。SPEEDFAM 18Bは、2インチから8インチまでのさまざまなウェーハサイズを扱うことができる統合された機械的プロセスチャンバーを提供しています。ワックス、樹脂、ガラス、金属など様々な素材に適しています。内蔵の冷却モデルは効率的な作業条件を可能にし、高度な浄水装置は最終製品の最高の精度、信頼性、清潔さを保証します。18Bは、材料を処理するための研磨剤とダイヤモンドスラリーの広い範囲が付属しています。自動化されたプロセス制御システムは、研磨スラリーとプロセスパラメータの異なるパラメータに調整することができます。このユニットには、自動グレーディング、トリミング、サンプリングのオプションもあります。全体として、SPEEDFAM 18Bは堅牢で信頼性の高い機械で、業界をリードする研削および研磨結果を提供します。この装置は完全な性能を提供し、ほとんどの企業の適用の要求のために完全な高精度レベルを達成することができます。あらゆる半導体デバイスの開発・製造プロセスに対応する最先端のソリューションです。