中古 SPEEDFAM 18B-AW #9208826 を販売中

SPEEDFAM 18B-AWは、ウェーハなどの基板に精密な製品仕上げを提供するために設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、研磨技術と非研磨技術の両方を使用して、さまざまな材料で完全にレベルの高い表面を生成します。それは高精度の調節可能な速度制御および過剰処理を防ぐために過剰移動装置が付いている自動操作のために設計されています。機械には、ラッピングと研磨のための独立したウェハホルダーを備えた精密なステップスピンドルが含まれています。ユニットの研磨部品には、ダイヤモンドコート、ラップテーブルスピンドル、ラップスラストプレートが含まれます。また、様々な基板に高品質の仕上げを提供するように設計された可変周波数モーターを搭載しています。ラップテーブルは4枚のダイヤモンドコーティングされた鉄板で構成されており、スピンドル上のウェーハホルダーの下面と、さまざまなウェーハを研磨するための調整可能な金属製のラッピングテーブルを提供します。ラッピングと研磨テーブルは、完成品の品質を向上させるために左右に調整することができます。SPEEDFAM 18 BAWには、ダイヤモンドのスラリーやペーストなど、完成した表面のための軽くて重い研磨とラッピングメディアもあります。本機は、ウェーハの過剰処理を防止するための過渡移動装置を内蔵し、時間の経過とともに再現可能な処理結果を示すように設計されています。最後に、このツールには、機械とオペレータの両方を保護するように設計されたさまざまな安全装置が含まれています。これらには、ドアインターロック、安全照明、動き検出器、および緊急停止ボタンが含まれます。さらに、メンテナンス、クリーニング、検査にも簡単にアクセスできます。全体として、18B-AWはウェーハやその他の基板の高精度処理を提供するように設計されています。可変速度制御、研削、ラッピング、研磨媒体の選択、および一連の安全装置により、アセットは機械とオペレータの両方にリスクを最小限に抑えた高品質の最終製品を保証します。