中古 SPEEDFAM 18B-5L #9143480 を販売中

SPEEDFAM 18B-5Lは、マイクロエレクトロニクスデバイス上で超高精度の表面を作成するために使用される革新的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研削とラッピングプロセスの組み合わせを使用して、ウェーハの滑らかで完璧な仕上がりを実現します。このシステムは、レーザー焼結金属やセラミックスにアルミノシリケートなどのさまざまな材料でのウェーハ研削、ラッピング、研磨に適しています。18B-5Lユニットには、フル機能のプロセス制御機能とオートメーション機能が搭載されており、各部品サイクルから再現可能で一貫した結果を得ることができます。機械は取り外し可能な版が付いているチャックの上のホールダーがある大きい粉砕版が装備されています。その可変速度駆動により、SPEEDFAM 18B-5Lは、異なるラッピングおよび研削タスクのために、200から3000 RPMまでの幅広い速度で実行するようにプログラムすることができます。このツールは、ダイヤモンドスラリーまたは非ダイヤモンド研磨剤のいずれかでラッピングすることもできます。18B-5Lは、ランニング中に研削板に冷却剤を提供する特許取得済みの冷却剤アセットを持っています。このモデルには、回転速度や現在の温度などの研削およびラッピングプロセスパラメータを示すデジタルディスプレイも付属しています。ディスプレイはまた、研削とラッピング中にワークピースを安全に保つために真空接続を持っています。SPEEDFAM 18B-5Lには、ロボットの積み下ろし、自動化プレート、ウェーハバック研削プレート、ドレッシングディスク、プラテンホルダー、コンタクトホイール交換、ダイヤモンドスラリーなど、さまざまな周辺機器があります。この装置にまた静電気放電の可能性を減らし、仕事環境の安全の最高レベルを保障するためにイオン化されたスプラッシュ保護の特徴があります。可変速度駆動、チャックトップホルダー付き研削板、フルプロセスコントロール機能、特許取得済みのクーラントシステム、デジタル表示、周辺機器のフルレンジなどの機能の組み合わせにより、18B-5Lは高精度の表面用の強力なラッピングおよび研削ユニットを実現します。これにより、ユーザーは超微細なサーフェスを迅速に、効率的に、そして最高レベルの安全性で作成することができます。