中古 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9212616 を販売中

SPEEDFAM 18B-4P-1Mは、必要に応じて精度と精度を提供するように特別に設計されたウェーハ研削、ラッピング&研磨装置です。自動化されたシングルパスシステムで、最大18インチまでのウェーハの平らな研磨および研磨作業が可能です。18B-4P-1Mは高速4軸スピンドルを備えており、迅速かつ正確な研削および研磨作業を可能にします。4軸スピンドルは最大20,000RPMで動作可能で、0。001インチ（0。02mm）の放射精度を提供します。SPEEDFAM 18B-4P-1Mは、研削および研磨工程で発生した切削力の変化を補正する単点定数力補正ユニットも備えています。これにより、機械内で一貫した精度と再現性が得られます。このツールは、迅速かつ簡単なセットアップと操作を可能にする「混乱のない」アプローチで設計されています。18B-4P-1Mは2つの主要な部品から成っているモジュラー資産です；研削/研磨ヘッドとロボットコントローラ。研削/研磨ヘッドには、均一な平坦性のためのハイドロプレーニングプラテンを備えた4軸スピンドル、カスタムローディングロボット、およびクーラントデリバリーモデルが含まれています。主な研削/研磨ヘッドは、さまざまな材料で研削、ラッピング、研磨作業を行うことができます。ロボットコントローラは、研削/研磨ヘッドのロボットローディングおよびアンロード機能を管理するために使用されます。SPEEDFAMの18B-4P-1Mはまた装置との使用のための複数の異なったタイプの粉砕/磨く媒体を特色にします。メディアは、さまざまな材料で優れた表面仕上げと低い表面変化を提供するように設計されています。研削/研磨媒体はまた、より速いサイクル時間を提供し、クリーンアップ時間を短縮するのに役立ちます。18B-4P-1Mはまた、ユーザーフレンドリーなシステムであるように設計されており、標準、タッチスクリーンユーザーインターフェイス、統合ユニット監視ソフトウェアパッケージとして含まれています。この監視ソフトウェアは、機械内のあらゆる異常を継続的に監視するだけでなく、研削/研磨プロセスに関する詳細なレポートを提供することができます。SPEEDFAM 18B-4P-1Mは、必要に応じて精度と精度を提供するように特別に設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。それはモジュラー設計でセットアップし、作動することを容易にします。このアセットには、高速4軸スピンドル、一定の力補正モデル、および異なる材料で使用するための幅広い研削/研磨媒体が含まれています。また、統合されたユーザーインターフェイスと機器監視ソフトウェアパッケージが付属しており、ユーザーは研削および研磨プロセス中にシステムのパフォーマンスを監視することができます。