中古 SPEEDFAM 18B-4P-1M #9133577 を販売中

SPEEDFAM 18B-4P-1M装置は、精密ウェーハ研削、ラッピング、研磨用途に最適です。スチールベースと、最大4つの異なるプロセスゾーンに対応できるフレーム構造で構成された耐久性のある堅牢な設計を特徴としています。ベースに取り付けられた4つの傾斜リフトテーブルは、異なる角度や作業面の高さを同時に処理します。各テーブルの作業面は永久磁石で調整され、ウェットまたは乾燥研削、ラッピング、研磨用途のいずれかでウェーハを確実に保持します。高トルク可変周波数ブラシレスDCモータは、0〜3600 RPMの幅広い速度設定を可能にします。このシステムには、空気中の粒子状汚染を排除するための防塵および濾過システムが含まれています。この設計により、ウェーハ研削、ラッピング&研磨プロセスの効率的でオペレータに優しい動作が保証され、潜在的な環境危険のリスクが低減されます。湿式または乾式の研削、ラッピング、研磨プロセスは、3軸の直線運動と角度運動を備えた制御された正確なタイミングのモーションコントロールを使用して行われます。このプロセスには、切断と除去の両方のプロセスが含まれており、光学および/または化学表面処理用に事前に処理されています。このユニットは、連続的にリンクされた操作を利用して、すべてのウエハサイズの反復処理を可能にします。ウェーハは、アプリケーションに応じて手動または自動ウェーハ処理システムを介してロード/アンロードすることができます。18B-4P-1Mは、アプリケーション要件に応じて、幅広いプロセスパラメータに対応するように設計されています。それは表面の終わりおよび望ましい超構造化の効果の質を制御するために容易に調節することができます。マシンの安全性と動作機能の一環として、すべてのウェーハ位置が正確に監視されます。SPEEDFAM 18B-4P-1Mは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適なツールです。統合された設計により、厳格なプロセス制御と柔軟性により、環境や製品を環境の危険から保護しながら、高品質で正確な結果を提供できます。プロセス全体にわたってクローズドループ、精密制御を提供し、各ウェーハの実行における再現可能な精度と精度を保証します。