中古 SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824 を販売中

SPEEDFAM 18B-4L/ 16B-5Lは、商業用に設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。半導体業界の様々な用途に高精度な表面仕上げを提供する先進的なシステムです。この高性能ユニットは、研削盤、ルーペ、ポリッシャー、バッファブレード、複合プレートなどの複数のコンポーネントで構成されており、すべてが完全に自動化されたプロセスで制御されています。研削工程は、ウェーハ表面から過剰材料を正確かつ効率的に除去するために、最大4,500 RPMで回転する高速研削砥石から始まります。研削後、表面をラッピングするために準備され、最適化された回転ラッピングユニットを使用して、ダイヤモンドペーストと圧縮を使用して最適かつ一貫したウェーハ表面平坦性と平行性を確保します。ラッピングプロセスに続いて、精密な平面化と表面仕上げを可能にする幅広い設定を備えた特殊な研磨機が続きます。この高精度な研磨工具は、最大0。2 μ mの限界エシェロンと0。052 μ m （Ra）までの表面テクスチャを達成することができます。次に、バッファブレード、複合プレート、その他の特殊工具を使用して、高度に研磨され反射面の仕上げを行います。18B-4L/ 16B-5Lは、カスタマイズ可能なプロセスレシピ、研削、ラッピング、研磨時間の正確な制御、負荷監視および診断機能、製品トレーサビリティなど、さまざまな高度な機能も提供しています。これらは、モデルの高精度と再現性に加えて、さまざまな材料や用途において高品質な結果を達成するための適切なソリューションとなります。