中古 SPEEDFAM 18 DTAW #9087734 を販売中

SPEEDFAM 18 DTAWは、高精度のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。この高度なシステムは、超微細で非常に正確な微細加工要件の要求を満たすように設計されています。直径6インチまでのシリコンと非シリコンウェーハの両方を処理することができます。18 DTAWは、高精度ミラーや平行平面研削、ラッピング、研磨など、多くの用途に適した幅広い機能を備えています。このユニットは、DCブラシレススピンドルモーターとダイレクトドライブを備えており、優れた制御と精度を実現しています。また、可変速度調整とトルク制御、および再現性のための精密センサマシンも備えています。スピンドルは100〜100,000 rpmの範囲で、最高速度は15,000 rpmです。ワークオートメーション用のSPEEDFAM 18 DTAWは、ロボットキャビティローディングツールを内蔵しています。この自動ローディングアセットにより、すべてのウェーハがスムーズにロードおよびアンロードされ、ユーザーの介入が最小限に抑えられます。また、手動でのロードとアンロードにも対応しています。このモデルはまた、高度な垂直送り機構を備えており、サンプルと研削スピンドルの正確なアライメントと位置決めを保証します。18 DTAWは、ホイールドレッサーやツルーユニットの範囲を含む研磨および研磨アクセサリーの範囲で事前に構成されています。それはまた光学磨くことのための統合された、ダイヤモンドの研摩用具そして付属品を含んでいます。これにより、幅広い用途に適した汎用性の高い機器となります。SPEEDFAM 18 DTAWは、表面仕上げと精度が最も重要であり、これを念頭に設計されています。システムに完成品の質のオンラインフィードバックを可能にする連続的な監視の単位があります。これにより、結果は顧客の正確な仕様を満たすことができます。要するに、18 DTAWは、幅広い用途に最適な高精度ウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。精密部品と自動ローディングツールにより、ユーザーフレンドリーな資産となり、高度なモニタリング機能により一貫した結果が得られます。これにより、精度と信頼性の両方を求める人に最適です。