中古 SPEEDFAM 16B #9410060 を販売中
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SPEEDFAM 16Bは、セラミック、光学、複合材料の精密仕上げに使用される高度な電子ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムには強力なデュアルロータリーとリニアモーションアクションが装備されており、優れた表面品質で素材を迅速かつ正確に仕上げることができます。研削および研磨プラテンは、一定の速度単位を利用して、材料の除去速度を正確に制御し、より小さいまたはより大きな研削および研磨ディスクのためのゾーンの選択を可能にします。プラテンにまた一貫した、正しい粉砕、ラッピングおよび磨く変数を保障し、再現性を進めるのを助ける専門にされたデジタル符号化機械があります。SPEEDFAM 16 Bは、タイミングと速度制御研削サーボモータ、クランプシステム、特別に設計されたワークピースホルダーなど、パフォーマンスを最大化するためにいくつかの高度な機能を備えて設計および製造されています。このツールには、すべての処理パラメータを簡単に設定および記録できるデジタルデータアセットも含まれています。さらに、柔軟なプロセスライフモニタリングと制御モデルが含まれており、故障または損傷を引き起こすコンポーネントをシャットダウンし、原因の調査を促すことができます。この装置は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨のための複数のプロセス最適化機能を提供します。16B専用に設計されたウェーハエッジコーナーラウンディングプロセスは、ラッピングプロセスと組み合わせて使用することで、優れた品質サーフェスを備えた非常に精密な部品を作成できます。研磨作業では、非常に滑らかな表面と鋭いエッジを生成することができるシングルリングまたはダブルリングの研磨構成のいずれかを使用することができます。一貫した、良質の結果のために、16 Bはまた塵の避難の単位および多層封じ込められたキャビネットと設計されました;これにより、処理中のほこりや空気の汚染が制限され、より静かな動作のための遮音性が確保されます。また、緊急停止ボタンや安全インターロックシステムなど、多くの安全機能を備えています。これらの機能はすべて、高品質で信頼性の高い精密電子部品の精密仕上げのための高度で堅牢で信頼性の高いツールを作成するために一緒に来ます。
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