中古 SPEEDFAM 16B #9410059 を販売中
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SPEEDFAM 16Bウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、最も繊細なアプリケーションのための高精度ウェーハの生産を可能にする汎用性の高い機械です。このシステムは、高スループットのために設計されており、さまざまなサイズと形状のウェーハの非常に微細な表面研磨の要件を満たしています。SPEEDFAM 16 Bは、研削ヘッドから複雑なエアストリームを流れ、複雑な形状の正確な研削を可能にします。16Bは振動、連続的な回転および訓練を含むいくつかの異なった粉砕モードを、提供します。振動粉砕は、通常、単調な粉砕面を提供する一定の粉砕圧力を使用します。連続的な回転は特定の適用のためのさまざまな圧力とより積極的に粉砕します。掘削モードは、深い深さを研削するだけでなく、着脱性の程度を可能にします。モータ速度、圧力、空気速度、ドウェル時間などのカスタマイズ可能なパラメータの広い範囲で、16 Bは汎用性の高いソリューションを提供しています。SPEEDFAM 16Bは、研削とラッピング時に最適な冷却を保証する革新的な冷却ユニットを備えています。作業エリア全体に空気または液体クーラントを循環させ、ウェーハの均一な加熱を保証します。また、振動を排除し、ウェハが研削前に完全にまっすぐであることを保証する特別な振動減衰装置を備えています。SPEEDFAM 16 Bには、いくつかのユニークな安全機能も含まれています。このツールには、安全扉を開けた場合に機械が作動するのを防ぐ安全インターロックスイッチが装備されています。また、無負荷保護アセットを備えており、負荷がなければ研削ヘッドが回転するのを防ぎます。このモデルは、ジャムが検出された場合にマシンの動作を停止するように設計されています。16Bはウェーハの手動供給を不要にする自動ウェーハ負荷/アンロード装置を備えています。このシステムには、エッジ検出、タイミング、角度検出など、研削プロセスの精度と一貫性を保証するいくつかの品質管理機能も装備されています。16 Bは非常に強力なマシンで、幅広いプロセスを可能にし、卓越した結果を生み出します。その特徴およびカスタマイズ可能な変数は正確で、一貫した粉砕を保障するように設計されています。安全性に優れたSPEEDFAM 16Bは、非常に信頼性の高いウェーハ研削ユニットです。
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