中古 SPEEDFAM 16B #9281362 を販売中

SPEEDFAM 16Bは、SPEEDFAMが開発した、精密ウェーハおよび光学部品加工用の片面研削、ラッピング、研磨機です。この機械は、シリコン、石英、ガラス、セラミック、フェライト、複合材料などの幅広い材料に優れた研削、ラッピング、研磨機能を提供します。超精度で200mm（直径）までの基板サイズに対応可能です。表面仕上げは1 nm rms以下の粗さを実現し、表面の角度精度は最大10度の角度まで3秒以上のアーク精度を向上させます。このシステムには、研削、ラッピング、研磨プロセスを制御するためのユーザーフレンドリーな直感的なヒューマンマシンインタフェース（HMI）が装備されています。それはよりよい表面の終わりを提供するために複数のダイヤモンドの穀物が付いている2段階の粉砕車輪を特色にします。また、自動ツールチェンジャーと最高の表面仕上げを確実にするためのツールタイプの制御ユニットを備えています。機械は生産の効率を最大にするように設計されています。その特徴には、研削およびラッピング操作を正確に調整するための革新的な速度調整可能な研磨面が含まれます。また、自動ローディングツールとプロセスモニタリングも備えています。さらに、砥石や研磨による表面変形を測定する圧力制御ロードセルが生産性の最大化に役立ちます。アセットはまた、研削速度を制御するためのセーフエッジ検出器を備えたモデルの安全性を保証します。また、研削、ラッピング、研磨プロセス全体のプロセスパラメータをリアルタイムでデジタル表示します。SPEEDFAM 16 Bは、高精度かつ高精度で、厳格な要件下でのウェーハや光学部品の加工に適しています。