中古 SPEEDFAM 16B #9272398 を販売中

SPEEDFAM 16Bは、様々なウエハを加工するために設計された最先端のウエハ研削、ラッピング、研磨システムです。このマシンは、最も複雑なウェーハ構造の生産をサポートするための幅広いオプションを提供しています。システムの主なコンポーネントには、ウェーハ研削チャンバ、ウェーハ研磨チャンバ、およびプロセス全体を制御するためのPLCインターフェースがあります。最適な加工のために、ウェーハ研削チャンバは3段階のサイズ削減が可能です。まず、表面粗さを低減するために、ウエハは粗研削プロセスの対象となります。これに続いて、表面粗さをさらに低減するための微細な研削加工が行われます。最終段階は精密粉砕プロセスと呼ばれ、目的の形状、サイズ、および表面仕上げを達成するために使用されます。ウエファーの磨く部屋は元の設計およびアートワークと一貫した良質の表面の終わりを達成するように設計されています。ウェーハは、すべての表面汚染物質を除去するための特殊な化学処理と、望ましい表面仕上げを達成するための機械的研磨プロセスを受けます。このウェーハ研磨チャンバーには、ウエハにUVまたはPVDコーティングを施す機能もあり、さらなる表面保護を提供します。このマシンは、プロセスのさまざまな側面を制御するためのPLCインターフェイスを備えています。このインターフェースにより、プロセス監視、データ収集、および機械操作全体の制御が可能になります。PLCは、高速プログラミング、カスタムプログラミングを提供し、最大32のプログラムは、ウェーハ研削、研磨およびその他の複雑なプロセスのために利用可能です。SPEEDFAM 16 Bは、ウェーハ研削および研磨プロセスで優れた性能を提供します。その精密研削能力は、ウェーハ表面構造が設計要件に密接に一致することを保証します。さらに、ウェーハ研磨チャンバは、ウェーハ表面が設計要件に密接に一致することを保証します。PLCインターフェイスは注文のプログラミングおよび速いフィードバックとのプロセス全体の容易な制御を提供します。最先端のコンポーネントを備えた16Bは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨に最適なソリューションです。