中古 SPEEDFAM 16B #293829290 を販売中
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SPEEDFAM 16Bは、SPEEDFAM株式会社(旧SPEEDFAM Co。、 Ltd。)が設計・製造した最先端のウェーハ研削・ラッピング・研磨装置です。半導体業界での使用に最適なシステムです。この機械は「研削力」と「ラッピング力」を組み合わせてウェーハ表面の品質を向上させます。研削力は表面の粗さを除去するのに役立ちますが、ラッピング力は表面の欠陥を平準化するのに役立ちます。直径16インチまでのウェーハに対応でき、別々に調整可能な研削石2個、別々に調整可能なラッピングプレート2個、独立して操作された研磨ヘッド2個を備えています。ウェーハの電動研削とラッピングは、敏感な圧力、電流、RPM制御ユニットによって制御されます。研磨ヘッドは、スピードセンサーを使用して研磨速度を高精度に制御する高度なPLC制御マシンによって操作されます。これにより、ウェーハは一貫した均一な表面仕上げを受けることができます。自動ローディングツールが付属しており、効率的なウェハハンドリングが可能です。また、研削/ラッピングプレートの圧力センサーや研磨ヘッドなどのフィードバック機構を備え、ウェーハの状態をオペレータにフィードバックします。これにより、研削、ラッピング、研磨サイクル全体で一貫したパフォーマンスを保証します。SPEEDFAM 16 Bはコンパクトで、フットプリントが小さく、メンテナンスに簡単にアクセスできるようにモデル全体が設計されています。緊急停止や除塵システムなどの統合された安全機能は、安全な作業環境を確保するのに役立ちます。全体として、16Bは、研削、ラッピング、研磨ウエハのための業界標準の機器です。その高度な機能、精度、信頼性により、半導体業界にとって理想的なツールとなります。
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