中古 SPEEDFAM 16B #293825438 を販売中

SPEEDFAM 16Bは、ウェーハ研削、ラッピング&研磨装置であり、大量の低粗度ウェーハの生産のために設計されています。ウェーハサイズは6インチと8インチで、1時間あたり最大4,000個のウェーハを処理することができます。自動ローディングとアンロード、完全自動エンドポイント検出システムなどの機能により、SPEEDFAM 16 Bは、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性の高い大容量ソリューションです。本体/ベースには、研削/ラッピング/研磨ヘッド、ローディング/アンロードアームおよびその他のコンポーネントが収納されています。研削/ラッピング/研磨ヘッドは回転テーブルに取り付けられ、高さと角度の両方で調整可能です。調節可能な高さおよび角度は異なったウエハサイズおよび形への適応を可能にします。さらに、ヘッドには、さまざまな力、速度、圧力の組み合わせのために、0-600 rpmから可変的なスパイラル研削/研磨速度が装備されています。ローディング/アンローディングアームは、2チャンネル自動ホルダーに接続された電動ローラー機です。ローディングアームには、2つのローラーと5つのウェーハホルダーを含むトレイが装備されています。ホルダーは、トレイからウェーハを自動的にツールに移動させるように設計されていますが、アンロードアームは処理されたウェーハをトレイに戻します。アセットを制御するために、本体に統合された16インチコントロールパネルがあります。これにより、オペレータは簡単にモデルの動作を監視、調整、制御することができます。コントロールパネルにはUSBポートとイーサネット接続が付属しており、機器へのリモートアクセスと操作が可能です。16Bは、金、ニッケル、アルミニウム、チタン、タングステンでコーティングされたものを含む、さまざまなウェーハ表面を処理することができます。圧力、温度、研削時間、製品品質などのパラメータを測定するためのインプロセスセンサを装備しています。このデータは、コントロールパネルを介して監視し、各プロセスの最適化に使用することができます。16 Bは、低粗度ウェーハを大量生産するための洗練された信頼性の高いシステムです。その機能と機能の範囲は、ウェーハ研削、ラッピング、研磨の幅広い用途に適しています。