中古 SPEEDFAM 16B #293793490 を販売中

SPEEDFAM 16Bは、フォトマスク基板やその他のフラットパネル材料を製造するために使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。これは、徹底的にテストされ、高効率であることが証明されている固定ヘッド研削プロセスを使用しています。SPEEDFAM 16 Bシステムは、ウェハ研削プロセスを合理化し、均一な表面仕上げのフォトマスクを作成するために使用することができます。16Bユニットは、独自の2段階アプローチで研削工程と研磨工程を分離します。第1段階では、ダイヤモンドホイールを使用して基板を粉砕してプロファイルし、均一な平面仕上げを実現します。このステージを調整することで、小型・大型ダイから研磨石英やシリコンウエハーなどの基板フォーマットまで、さまざまなウエハサイズを作成できます。ツールの第2段階は、ウェーハの表面を磨くために使用されます。この段階は化学懸濁液の資産と一緒にダイヤモンドの磨く代理店から成っている磨く車輪を使用します。次に、サスペンションモデルは、ウェーハの表面全体に研磨剤を均一に分散させる働きをします。これにより、望ましくないアーティファクトや傷のない均一な表面仕上げが保証されます。2段階のプロセスに加えて、16 Bにはユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた洗練された制御装置があります。この制御システムは、オペレータが所望の仕上げと基板特性を達成するために、処理パラメータを調整することができます。さらに、このユニットにはモニタリングマシンが装備されており、望ましくない研削および研磨設定の迅速なフィードバックと修正が可能です。このフィードバックループは、オペレータが望ましい結果を得るために必要に応じてパラメータを変更できることを意味します。結論として、SPEEDFAM 16Bは、オペレータが迅速かつ効率的に均一な精密基板を作成することを可能にする高性能ウェーハ研削、ラッピング、研磨ツールです。2段階のプロセスと高度な制御資産により、高価で時間のかかる手動研削と研磨が不要になり、フォトマスク基板やその他のフラットパネル材料に優れた結果をもたらします。