中古 SPEEDFAM 16B #293656116 を販売中

SPEEDFAM 16Bウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、直径300 mmまでの平らで円形のシリコンウェーハを処理するように設計されています。このシステムは、ダイヤモンド含浸ベルト、ベルト研削、直接ローカライズされたラッピング、および最終研磨を利用した「ウェットベルト」仕上げプロセスを採用しており、フロントとバックウエハの両面に優れた結果をもたらします。SPEEDFAM 16 Bの単位は2つの一致させた鋳造物圧力容器のまわりで設計されています、各穴があいた版を含んでいます。2つのケーシングは接続されており、ウェーハをローディングおよびクランプするための上部と下部のプラテンとして機能します。各容器には、ダイヤモンド研磨媒体またはクーラントを供給するためのスラリー注入ポートが含まれています。ウェーハはプラテン間に手動でロードされ、しっかりと締め付けられてウェーハを適切に固定します。ボトムケーシングは研削ベルトも内蔵し、トップケーシングはラッピングと研磨化合物を収納するために使用されます。優秀な終わりを保障するためには、機械16B特別に設計された二重ダイヤモンドのベルト用具を利用します。ウェーハを平面面に切断するために50ミクロンの研磨ベルトを使用し、10ミクロンのベルトを使用して小さな欠陥を滑らかにします。2つ目のベルトはより細かく、研削工程中に高い精度を得るだけでなく、粉塵粒子がウェーハ自体に埋め込まれる可能性を排除します。ウェーハを所望の厚さまで研削すると、ローカライズされたラッピングと研磨プロセスが表面を仕上げるために使用されます。ウェーハ底面に水溶性と油溶性の研磨剤を配合し、ウェーハを上部ケーシングに降ろす前に真空装置を使用します。これにより、ローカライズされたラッピングと研磨が行われます。ウェーハは最終的に天然研磨粒子のスラリーに浸漬され、2つの真空作動インデクサによって運動されます。このプロセスにより、ウェーハの表面が高い光学仕上げになり、表面粗さとエッジのバリが少なくなります。研磨プロセスを完了するために、ウェーハは振動運動を使用して高圧ダイヤモンドパッド仕上げにさらされます。これにより、ウェーハが均一に研磨され、高温および極圧に耐えることができます。ウエハが完成すると、平坦度、厚さ、表面粗さなどを測定する真空装置を使用して、厳格な品質保証手順を実行します。優れた表面仕上げとエッジを備え、優れた性能とコスト効率を維持しながら、高品質でフラットなウェーハを製造することができる2プラテンのアセットです。