中古 SPEEDFAM 16B #293625652 を販売中

SPEEDFAM 16Bは、均一で高品質なウェーハのハイスループット生産のために設計された自動ウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。このシステムは、最大16インチのウェーハを処理でき、高度なプロセス制御を提供します。SPEEDFAM 16 Bユニットは、研削ステーション、ラッピングステーション、研磨ステーションの3つの加工ステーションで構成されています。3つのステーションはすべて共通の回転軸を持ち、手動システムと比較して高いスループットを実現します。研削ステーションは、ダイヤモンド研磨材を使用して、滑らかで欠陥のない表面を提供します。ラッピングステーションは、表面欠陥のない均一な表面仕上げを提供します。最後に、研磨ステーションは、光学的に要求の厳しいアプリケーションを満たす鏡面のような表面仕上げを提供します。このマシンにはクローズドループのプロセス制御アルゴリズムも装備されており、プロセスパラメータを継続的に調整して一貫したウェーハ仕上げを実現します。このレベルの制御により、高い再現性とサイクルタイムの短縮が保証されます。このツールは、研削およびラッピング操作の両方に水溶性潤滑剤を使用するために設計されています。また、プログラム可能なサイクルタイムがあり、最大限の制御と柔軟性を可能にします。この資産には、潜在的な危険を回避する自動安全インターロックモデルも備えています。16Bは、幅広い用途での使用に適した強力で信頼性の高い機器です。高度なプロセス制御を必要とするアプリケーションや、高いスループットとプロセスの再現性に最適です。堅牢な構造と自動化されたプロセスにより、高品質のウェーハを製造するための貴重なツールとなります。