中古 SPEEDFAM 16B-5SSG #293639480 を販売中

ID: 293639480
ヴィンテージ: 1989
Double side polisher 1989 vintage.
SPEEDFAM 16B-5SSGは、MEMS、半導体、およびオプトエレクトロニクスの厳しい要件を満たすように設計された最先端のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。16B-5SSGはモジュール式の低高度設計を備えており、セットアップとメンテナンス中にマシン全体にアクセスできます。システムには、統合された電気パネル、エネルギー効率の良い可変周波数ドライブ、および精密デジタルコントローラが含まれています。SPEEDFAM 16B-5SSGは、優れた平坦性と穀物保持のための最先端の空気軸受技術を備えた高度な固定プレート研削ホルダーを備えています。このユニークな機能により、最大5台のウェーハで同時にマルチタスク研削、または仕上げ加工を行うことができます。高度な研削技術に加えて、16B-5SSGはまた、統合された真空ユニットと統合された発熱体を備えたカスタムデザインのホルダーを備えています。この機械を使うと、ウェーハの温度は磨くプロセス中で正確に調節することができます。これにより、ウェーハへの熱衝撃がなく、一貫性のあるラッピングと研磨が保証されます。SPEEDFAM 16B-5SSGは、資産への不正アクセスを防止するための安全インターロックツール、EMI排出を最小限に抑えるための静電シールド、および予防されていない危険が発生した場合にモデルをシャットダウンするための緊急停止スイッチを含む安全機能を完全に補完します。16B-5SSGは、最も厳格なプロセス要件を満たすように設計されており、送り速度、グラインダー径、粉砕圧力、スピンドル速度、研磨速度などのプロセスパラメータの精密な調整を含む正確な制御機能を備えています。この装置はSPEEDFAMによってテストおよび検証され、信頼性と再現性の高いウェーハ研削、ラッピング、研磨を保証します。SPEEDFAM 16B-5SSGは、最小廃棄物と最大のオペレータの安全性で優れた生産率を提供します。半導体ウェーハ、MEMSおよびオプトエレクトロニクス部品、およびエレクトロニクスおよびフォトニクス産業におけるその他の複雑なプロセスの研削、ラッピング、研磨に最適です。
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