中古 SPEEDFAM 16B-5SSG-2M #9191607 を販売中

SPEEDFAM 16B-5SSG-2Mは、コンパクトで効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。研削工程やラッピング工程で使用するオプションの5つのスピンドルと、研磨工程で使用する2つのスピンドルを内蔵しています。トップスピンドルにはフェイスとエッジの両方の研削能力があり、ボトムスピンドルはフェイスとバックサイドのラッピングを提供します。スピンドルサーフェスはプロフェッショナルな仕上げで、ジョブに応じて可変速度で回転します。16B-5SSG-2Mには、ウェーハを固定するためのモーター式チャックと、ウェーハを装填するためのモーター式リフト機構が装備されています。研削、ラッピング、研磨プロセスで研磨スラリーを使用できるように、研磨スラリー供給ユニットも含まれています。研削のための研磨スラリーの連続供給を確保するために、調整可能な流量と供給ホッパーが利用可能です。製造工程をモニタリングする走査顕微鏡と、ウェーハ部品の位置決めに役立つ視覚誘導灯を搭載しています。このツールには、研削およびラッピング中に素材を迅速に除去するための水冷切削ホイールも用意されています。その他の特長としては、制御と動作のための内部電源、チャック上にウェーハを保持するための真空発生器、磁気チャック位置決めモデル、ラッピングプロセス用の幅広いメディアがあります。この装置には、プロセスを管理するための適切なプログラマブルロジックコントローラも用意されています。SPEEDFAM 16B-5SSG-2Mはシンプルかつ効率的に設計されており、半導体や光電子ウェーハの研削やラッピング、セレッドウェーハの研磨など、さまざまなプロセスに適しています。さまざまな生産環境で効率的な生産を可能にします。このシステムは安全で信頼性が高く、費用対効果が高く、最大生産性は1時間あたり最大4ウェーハです。このユニットは、最も要求の厳しいアプリケーションのための信頼性と再現性の高い研削、ラッピングおよび研磨結果の年を提供します。