中古 SPEEDFAM 16B-5P #293589767 を販売中

SPEEDFAM 16B-5Pウェーハ研削、ラッピング、研磨装置は、最も効率的な方法で最高品質の表面仕上げを生成するように設計された精密機械です。5ステーションプロセスチャンバー、高効率真空ポンプ、高負荷圧力ゲージシステム、垂直および水平調整オプションなどがあります。16B-5Pの5ステーションプロセスチャンバーは、高品位のダイカストベースから構成されており、2つのラッピングプレート、1つの研磨プレート、2つの研磨プレートが含まれています。この構造により、一度に5つのウエハを同時にラッピング、研削、研磨することができ、時間とコストを節約できます。ウェーハプレートは非常に耐久性があり、研削、ラッピング、研磨プロセス中に高い負荷に耐えるように設計されています。ラッピングプレートモジュールは、最適な品質の表面仕上げを実現する上で重要な役割を果たす特別なセラミック材料を取り付けています。SPEEDFAM 16B-5Pには、約70ミクロンの深さまで真空を素早く作成できる強力な真空ポンプも含まれています。ポンプには、真空の電流レベルを表示する統合圧力計も装備されています。これにより、真空圧力を必要なレベルに素早く簡単に調整できます。さらに高負荷圧力ゲージユニットを装備し、各ウェハに印加される圧力が最適なレベルに保たれるようにしています。圧力計は、ユニット内にある一連のセンサーを介して印加圧力を測定し、手動またはデジタル表示で調整できます。最後に、16B-5Pは垂直および水平の調整オプションを備えており、実行中のプロセスに対してマシンが常に正しく設定されていることを確認します。これにより、SPEEDFAM 16B-5Pの均一な性能がすべての基板サイズと研磨媒体にわたって維持されます。要するに、16B-5Pは最も効率的な方法で最高の表面仕上げを提供するように設計されている信頼性が高く、効率的なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。5ステーションプロセスチャンバー、高効率な真空ポンプ、高負荷圧力ゲージツールを活用することで、最適な表面仕上げを迅速かつ一貫して実現するSPEEDFAM 16B-5P。このユニットの垂直方向および水平方向の調整オプションにより、すべての基板サイズと研磨媒体にわたってユニバーサルな一貫性と均一性がさらに向上します。