中古 SPEEDFAM 16B-5P #293589766 を販売中

SPEEDFAM 16B-5Pは、汎用性の高い高品質のウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。4〜8インチのウェーハを受け入れるように設計されており、最高レベルのスループットとプロセス品質を維持しながら、優れた表面仕上げと一貫した結果を達成することができます。ウェーハ研削システムは、通常、裏面研削または化学機械平面化（CMP）の前にウェーハ表面から余分な材料を除去するために使用されます。回転および固定ラッピングプレートはサーボモーターによって運転され、調節可能な速度があります。このユニットは、ウェーハの様々な厚さの校正が可能で、最適な結果を得ることができます。16B-5Pには、ラッピングおよび研磨作業用のダイヤモンドスラリー機が装備されています。ダイヤモンドスラリーは自動的に分配され、常に正しい量のスラリーがウェーハに適用されるようにします。スラリーは塗布前に濾過され、ラッピングや研磨作業に合わせて調整することができます。ダイヤモンドスラリーはまた、最高レベルのプロセス再現性を確保するために温度制御されています。SPEEDFAM 16B-5Pには、スラリー粒子が作業表面全体に均等に分布するように調整可能な水圧ツールも装備されています。このアセットには、機器全体でウェーハを輸送するために使用できる自動パレットモデルも搭載されています。自動化されたパレットシステムにより、オペレータは異なるワークパッドを切り替え、速度設定を調整できます。最高水準のプロセス品質を満たすために、16B-5Pはレーザー表面検査、プロセス制御、リアルタイムのウェーハ再調整、温度制御などの高度な機能を備えています。レーザー表面検査装置は、プロセス制御装置がプロセス全体を追跡し、工具の性能を常に監視するのに対し、オペレータはウェーハ表面の不規則性を検出することができます。リアルタイムのウェーハ再調整機能により、ラッピングまたは研磨作業を迅速に調整でき、プロセスの品質が向上し、スループットが向上します。最後に、温度制御アセットにより、正確で正確な温度制御が可能になり、ウェハの均一性と一貫性が向上します。