中古 SPEEDFAM 16B-5P-4M #9072355 を販売中
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SPEEDFAM 16B-5P-4Mは、幅広い用途で最適な結果を提供するように設計された高効率の多目的ウェーハ研削、ラッピング、研磨システムです。最大16インチウェーハを一度に処理でき、最大スループットは1時間あたり300ウェーハです。16B-5P-4Mは回転式グラインダー/ラッパー、2つの研磨機、および高いトルク駆動モーターを備えており、一貫した表面仕上げで精密な研磨および研磨作業を可能にします。その統合された多軸制御システムは、均一な表面仕上げを実現するために、ロータリーグラインダー、ラップ速度、フィードレートを正確に制御します。ラッピングプロセスは、ツール面を中心に調整することで目的のプロファイルに設定でき、ラップ面は再循環できます。さらに、乾式研削、半濡れ研削、ウェット研削など、さまざまな研削および研磨要件にも対応できます。SPEEDFAM 16B-5P-4Mのグラインダー/ラッパーは、目的の表面仕上げを実現するために、超精密ダイヤモンドコーティング工具を含むさまざまな研磨材料を使用することができます。ラッピング方向も設定可能で、任意の方向に研磨・研磨が可能です。さらに、16B-5P-4Mにはストッパーも装備されているため、オペレータは操作を簡単に中断または一時停止して工具面をリセットまたは調整することができます。SPEEDFAM 16B-5P-4Mの2つのポリッシャーを使用して、短時間で精密な研磨表面仕上げを実現します。ポリッシャーは金属と半導体の両方のウェーハを処理することができ、HEPAフィルターと非フィルターの両方の空気を使用して望ましい結果を達成することができます。研磨機は、最適な研磨結果を提供するために、調整可能な圧力、調整可能な速度、および調整可能な振動設定を備えています。16B-5P-4Mは、効率とパフォーマンスのユニークな組み合わせを提供する高度なデザインです。さらに、閉じたループ、自己完結型の設計は、空気中のほこりを減らし、清潔で安全な作業環境を提供します。使いやすいコントロールパネルにより、オペレータはシステムを迅速にセットアップして制御し、最適な結果を得ることができます。このように、SPEEDFAM 16B-5P-4Mは、ウェーハ研削、ラッピング、研磨作業に最適です。
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