中古 SPEEDFAM 16B-5L #9276640 を販売中

SPEEDFAM 16B-5Lウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、精密ウェーハ仕上げのために構築された完全に自動化されたシステムです。このユニットは、10〜20分のサイクルタイムで迅速かつ正確な研削、ラッピング、研磨作業を行うことができます。SPEEDFAM 16B5Lは、さまざまなサイズと構成の3-up、 4-up、 6-upウェーハで動作するように設計されており、最大送り速度は28-32インチ/秒です。機械はまた完全な適用範囲、完全なクリーニングおよびより安全な操作を保障する独自の、コンピュータ制御された真空部屋が装備されています。16B-5Lは、ロボットアーム、複数の研削ヘッド、ホイールマウント、ラッピングテーブル、ポリッシャー、CCDカメラなど、自動化されたコンポーネントのフルスイートで構成されています。ロボットアームは最大5つの工具を搭載することで、研削、ラッピング、研磨を同時に行うことができ、サイクルタイムの短縮とスループットの向上を実現します。研削ヘッドはリニアガイド、クロスフィード軸ドライブ、両面スピンドルを備えており、精度と多機能性を向上させています。16B5Lのホイールマウントは、耐久性のあるアルミニウム製で、精密ボールベアリングだけでなく、急速な動きのためのモーター駆動とフィード機能を備えています。ラッピングテーブルは、調整可能な速度、振動、背圧、および振動分離を備えているため、効率と精度が向上します。工具に搭載された研磨機は、様々な研磨布とラッピングフィルムで動作するため、研磨仕上げの全範囲を可能にします。CCDカメラは、ユーザーが進行中の作業を監視し、ウェーハの正確な仕上げを確保することができます。全体的に、SPEEDFAM 16B-5Lウェーハ研削、ラッピング&研磨アセットは、高速、正確、信頼性の高いウェーハ仕上げのために設計された完全に自動化されたモデルです。SPEEDFAM 16B5Lは、フルスイートのコンポーネントを搭載し、高い生産性を保証します。一方、ロボットアーム、複数の研削ヘッド、ホイールマウント、ラッピングテーブル、ポリッシャー、およびCCDカメラは、最適な仕上げを保証します。