中古 SPEEDFAM 16B-5L #293797039 を販売中

SPEEDFAM 16B-5Lは、半導体業界で使用されるウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。直径8インチまでのシングルウェーハとバッチ処理が可能です。このシステムには32ポジションラッピングヘッドが装備されており、最大32個のウェーハをシングルサイクルでラップすることができます。このユニットは、精密な研削とラッピングの結果を達成することができ、大量の生産および研究アプリケーションに最適です。この機械には、研削、ラッピング、研磨ステーション間でウェーハを垂直に移動するように設計された搬送ロボットが組み込まれています。ロボットは、スロッチウォールとともに、粉砕ステップと研磨ステップ間の粒子の相互汚染を防ぎます。ラッピングヘッドは、均一な表面仕上げを提供し、高度な研削、ラッピング、研磨を通じて正確な形状とサイズを提供するように設計されています。精密な空気軸受け紡錘が一定した速度でウェーハを回すのに使用されています。スピンドルは、振動を排除し、ウェーハが研削工程全体でまったく同じ位置にとどまることを保証する力で吊り下げられます。これにより、ウェーハのスコアリングやその他の損傷の可能性を最小限に抑えることができます。SPEEDFAM 16B5Lツールには、資産のすべての機能を制御できる高速オンボードコンピュータも組み込まれています。このコンピュータは機械の操作を監視し、制御するのに使用される特別なソフトウェアとプログラムされます。16B-5Lは、優れたスループット精度、再現性、および表面仕上げを提供します。この機械は、半導体業界にとって最高の品質と精度のウェーハを生産する能力を持っています。高速で正確な操作と柔軟性により、研究と大量生産の両方のアプリケーションに最適です。